更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1～15 件を表示 ／ 全 45 件
ウェハZ軸位置決めや、ウェハ厚み測定などの改善事例をご紹介！
当資料は、半導体業界における測定器・変位センサの改善事例集です。 ウェハダイシング深さ測定やBGAバンプの形状測定、スパッタリング ターゲットの磨耗量測定、真空チャンバ内アーム曲がり測定、モールド 前のチップの高さ測定など、様々な事例を掲載。 その他にも、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ウェハZ軸位置決め ■ウェハ厚み測定 ■ウェハダイシング深さ測定 ■BGAバンプの形状測定 ■ワイヤボンディング高さ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
誘導型 位置センサー LVITは、コンタクトレス動作のセンサーです。 低コスト、頑丈な構造で、優れたストローク対長さ比率です。
誘導型 位置センサー LVITは、コンタクトレス動作のセンサーです。 低コスト、頑丈な構造で、優れたストローク対長さ比率です。 測定範囲: 25～200 mm 出力: 10 Vあるいは、4-20 mA LDI-119シリーズ: 直径11mm ハウジングコンパクトタイプ LDI-127シリーズ: 直径27mm ハウジング 特に頑丈なタイプ
ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位測定で、高品質の半導体製造を実現
当社は、attocube社製の半導体製造装置向け『ナノ位置決めステージ』や 『レーザ干渉式変位センサ』を取り扱っています。 高精度の位置決めを実現でき、数kgの荷重量に対応したステージなど 様々なニーズに応えられる製品をラインアップ。 クローズドループ制御に対応しており、精密な制御を実現可能です。 非常にコンパクトで、装置への組み込みも容易に行えます。 【製品ラインアップ】 『ナノ位置決めステージ』 ■高真空・超真空対応 ■過酷な環境下でも高精度・高分解能での位置決め ■最大6軸までのステージを構築可能 『レーザ干渉式変位センサ IDS3010』 ■ピコメートルオーダーの高精度・高分解能 ■10MHzの超高速動作、最大5mの作動距離 ■様々な材質、超高真空・高磁場などの環境に対応 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
高い精度とラインナップであらゆる形状の段差を測定！お客様のお困りごとから開発したダンチノギス
「ZENSEI ダンチノギス」は、小型のハイトゲージで標準面から高さを測定し、アーム部の測定子の位置を調整することで標準から離れた箇所も測定が可能です。 お客様の測定方法に応じて、アナログ／デジタル、受け面が平面／３点受け等、様々な用途に対応可能です。 【全晴のダンチノギスは「ここ」が違う！】 ■お客様オリジナルが製作可能 ■豊富なラインナップで幅広く対応 ■デジタル、アナログ両対応 ※「ダンチノギス」の詳細はお問い合わせください。
ナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５ｍ作動距離。幅広い材質に対応。
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な品質管理（QC）や品質保証（QA）の達成に貢献します。 【特長】 ■ピコオーダー分解能 ■広い作動距離範囲：数ミリメートルから最大5メートル ■高磁場、超高真空対応可能 ■モジュール式セットアップ ■超コンパクトなセンサヘッド ■3軸（X,Y, Z）構成可能 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。
20mまでの長尺を測定可能
地盤モニタリングでは、安全性に関してポジションセンサが特に重要です。難しいのは、測定長と、それにもかかわらずコンポーネントを取り付けるためのスペースの不足です。 当社のRFセンサモデルは、このようなアプリケーション向けに設計されています。この磁歪式Temposonicsセンサの特別な機能は、最大20メートルの長さの測定ストロークに起因します。さらに、センサロッドは柔軟性があるので、スペースが限られている場合でも簡単に設置でき、また、この変位センサをコンパクトなサイズに収納できるため、低コストの輸送が可能です。 この用途の広いセンサには、最大20ヶ所の位置を同時に正確に測定できるモジュラープロファイルも用意されています。非常に頑丈なプロファイルは、基本的なプロファイルセクションと、組み立てたときに目的の長さを実現するいくつかの延長部品で構成されています。
分解能1 nm未満・最大帯域10 kHzの非接触変位計測センサー
D-510 PISecaは、最大測定範囲500µm・分解能1nm未満を実現する単一電極静電容量センサーです。 センサープローブはLEMOコネクタ付きで取り付けが容易。 ガードリング電極によって電場の均一性が確保され、高リニアリティ（最大0.1%）を達成しています。 E-852.10等の専用エレクトロニクスと組み合わせることで、静的・動的分解能ともに優れたナノメートル級の変位測定が可能です。
コンパクトで軽量！狭い場所でも設置可能。量産やOEM、高い加速度がかかる用途に最適。変位、距離、位置の測定に利用できます。
optoNCDT1320は、変位、距離、位置の測定に利用でき、コンパクトな形状のため、狭いスペースに設置可能で簡単に設置作業が行えます。 高い測定精度、測定レートは最大2 kHzまで設定可能。 センサの多機能ボタンで試運転でき、ウェブインターフェースから追加センサの設定を行うことができます。
ヘルスケア業界で使用される機器には、正確な位置決めに高度な技術が求められます！
当社では、『医療機器向けポジションセンサ』を取り扱っております。 コンパクトな「TILTIX傾斜計」は、正確な測定を提供し機器の寿命まで 使用できるよう設計。「LINARIXリニアセンサ」は、検査テーブルの 位置検出に好適なソリューションを提供します。 また、透視撮影台やX線撮影台、手術用Cアームなど、複数の部品が 組み合わされて位置決めを必要とする複雑なアプリケーションには、 「IXARCアブソリュートロータリーエンコーダ」が好適です。 【特長】 ■スキャナの角度位置決めや患者テーブルの正確な位置決めに好適 ■手術用ロボット、外骨格、人工呼吸器、 ラボラトリーオートメーション機器などにも好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
湿度を高精度で測定・制御できる！見やすい表示＆コンパクト設計のデジタル湿度調節計＼乾湿球センサまたは高分子センサから選べます！／
『デジマック3000huシリーズ』は、3位置制御（加湿/除湿）または2出力の独立制御（2位置＋2位置）、警報の出力が可能です。 伝送出力（オプション）の機種では記録計などへ出力することができます。 10Aを入切できるリレーを搭載しているため、超音波加湿器「霧風シリーズ」と連動することができます。きのこ栽培室の環境制御などにおすすめです。 【特長】 ■見やすい数字表示器 ■乾湿球センサまたは高分子センサから選択可能 ■屋内にスペースがとれない施設でも設置可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高精細に「ありのまま」の形状表現、超安定インライン検査を実現
■従来比4倍の超高精細測定 ■位置決め不要で正確なインライン全数測定・検査を実現 ■3STEPで誰でも簡単に設定可能 ※詳細はお問い合わせください。
超小型変位センサＤＳ２００１シリーズの新ラインナップ
ワイヤレス変位センサ（DS-1ch-ＷＬ）は超小型変位センサＤＳ２００１シリーズの新しいラインナップです。
ワイヤー式 変位センサー のご紹介です
ポテンショメータにワイヤーを巻きつけてある 変位センサーです。ワイヤーが引き出されることにより移動距離が計測できるセンサーです。溝付きドラムのため再現性に優れています。
拡散炉での温度変化測定など実績アプリケーション例についてご紹介！
当資料は、半導体・FPD業界における実績アプリケーション例集です。 ビューポート越し、ウエハの姿勢確認やウエハの厚み測定、画像処理 装置のピント調整、サセプタの振れ測定、ワイヤーロールの熱膨張 測定、ダイシング溝の深さ測定など、様々な事例を掲載。 その他、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ビューポート越し、ウエハの姿勢確認 ■ウエハの厚み測定 ■画像処理装置のピント調整 ■サセプタの振れ測定 ■ワイヤーロールの熱膨張測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
0.005%FS以下(最高1μm)の高分解能、0.025％FS以下の非線形性。見積用FAX用紙付
磁歪式リニア変位センサModel GYシリーズは、Wiedemann効果による磁歪現象を応用した工業用変位センサです。センサプローブに沿って無接触で移動するマグネットによって磁歪線の上にねじり歪を発生させ、その歪みの伝播速度を測定することによって位置を知るアブソリュート方式の高精度変位センサです。
