自動搬送式現像装置 ACT-300A2S
コンパクトな自動搬送式の現像装置です。
自動搬送式現像装置「ACT-300A2S」は、最大6インチの基板を回転させながらスプレー現像を行う装置です。 現像液2系統、リンス１系統とエアーナイフを装備しタッチパネルよりレシピ設定操作を行い、最大25枚の自動現像処理が可能です。 ※自動処理無しの枚葉式タイプもございます。 【主な仕様】 ○処理能力：最大6インチ丸基板を25枚連続処理が可能 ○プロセス：現像液：2系統、リンス：1系統、エアーナイフ：1系統 ○使用薬液類：アルカリ系現像液 脱イオン洗浄水 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社イーエッチシー
- 価格：応相談
