更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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ポンプ内部構造やクリーニング運転手順をまとめた技術資料を進呈しています！
当資料は、真空ポンプの販売促進について紹介しています。 「MDPシリーズとSDVシリーズの違い」をはじめ、「ポンプ内部構造」や 「ポンプ内部冷却仕様」「クリーニング運転手順」などを掲載。 また、「保守・点検」に関しても、写真や図と共にわかりやすく解説して ありますので、ぜひご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■大晃機械主幹8製品 ■TAIKO SCREW DRY PUMP ■ポンプの種類 ■ポンプの特長 ■接ガス部(ローター、ケーシング、サイドケース)材質 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ
【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
真空ポンプオイルの劣化や、ポンプの内部機構の破損を防ぐ！有害な水蒸気を除去
JRSシリーズ真空セパレータ/フィルタは、真空ポンプオイルを劣化させたり、或いはポンプの内部機構を破損したりする有害な水蒸気や液体から、真空ポンプを保護します。 有害な水蒸気の除去は、ガス状から冷却して液体に変化させ排出させます。また流体中に含まれているダスト等の固形物は、最終段のフィルタにて除去します。 【特長】 ・簡単に洗浄可能で、最適条件で長期間使えるフィン型熱交換器 ・頑丈な炭素鋼による構造 ・効率的な入り口確度 ・25A冷却水供給ポート ※より詳細な仕様に関しましては、 カタログをダウンロードして頂くか、直接お問い合わせ下さい。
油回転真空ポンプからの置き換えに最適なドライポンプ
真空焼結炉では飛散するバインダーが 油回転真空ポンプに堆積し故障原因となったり、 オイルが汚染され頻繁なオイル交換の必要があります。 当社ドライポンプは内部にバインダーが 堆積しにくい構造のため故障せず、 オイル交換にかかるランニングコストも大幅に削減できます。 ●真空焼結炉では油回転真空ポンプから ドライポンプへの置き換えが今のトレンドです。 ●独自設計のスクリューロータにより、 吸引されたバインダーを排出します。 一般的なドライポンプでは内部にバインダーが堆積し、 故障の原因となります。 ●オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、内部に残ったバインダーを 洗い流す作業が出来ます。 ●シールガス・パージガスを導入することで、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ●設置場所にて、容易に分解作業 （状態確認・消耗品交換・内部洗浄作業）ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 ２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０）、６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度：１Ｐａ以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載（オプション）により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷（オプションにて水冷も可能） ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 ＳＰガードを搭載。運転状況（振動、内部温度、背圧、等）を液晶モニターにて常時表示
配管を外さなくても簡単、スピーディーなメンテナンスが可能！
真空ポンプ用トラップ ATE型はコンパクトな製品です。ライン接続ができ、トラップ内部が見えるため、メンテナンスが容易な点が特徴です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプ！
油回転ポンプ・水封式ポンプの様にケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプです。 ユニークなドライ真空ポンプとして 業界注目の的です。
ケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプ総合カタログを無料プレゼント中！
油回転ポンプ・水封式ポンプの様にケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプです。 ユニークなドライ真空ポンプとして業界注目の的です。 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くかカタログをご希望のお客様は「カタログ希望」と記載の上、お問い合わせください。
シングルステージ、バルブ付きポンプモーター一体型水封式真空ポンプ、メカニカルシールタイプ。欧州CE標準（UL GBにも対応）
水封式真空ポンプ【ＶIシリーズ 】は内部水抑制システム搭載により、真空に必要な封水の使用量を最大限に抑えます。 また水封式真空ポンプの構造により、水分を含んだガスの吸引も可能です。 またサイズも0.18kwの超コンパクトサイズからご用意しております。 デザインとＯリングシールで、メンテナンス時の分解や組み立てが簡単です。 またスペックポンプは欧州CEマーク標準（アメリカULマーク 中国GBマークにも対応）です。その他にはRoHS対応もしています。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オリオン機械/真空ポンプ。業界初のモジュールデザインを採用。省エネ性能が更に進化した高真空・大流量モジュールマルチモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0～100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。
オリオン機械/真空ポンプ。真空度100kPa対応。制御盤・インバータをワンパッケージ化したモータ出力5.5kW仕様。受注生産品。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0～100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。
化学メーカー・製薬メーカーで採用実績多数有！腐食に強いステンレス製真空ポンプ。ガスと液体が混合しない構造で、水処理の必要もなし！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ミストや水蒸気の吸引による事故から解放！オイルミストの発生がなく清浄な環境を守る
「液封式真空ポンプ」は、一作動、側気口構造の一段式真空ポンプです。 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮 を行うため、ミストや水蒸気を含んだガスの移送でも全く支障はなし。 また、ポンプ内部には金属接触がなく、液膜により完全にシールされモレが なく、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 【特長】 ■高効率設計により経済性を追求、大幅に消費動力を削減 ■水封構造によりガスのリークは皆無、高価なガスの圧送、圧縮に効果的 ■低騒音 ■耐久性に優れる ■オイルミストの発生がなく清浄な環境を守る ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【モータ 一体型】低騒音で耐久性に優れた、小型液封式（水封式）真空ポンプです。
ニクニの液封式（水封式）真空ポンプは安全性＆経済性に優れています。 ■安全性 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、ミストや水蒸気を含んだガスの移送も全く支障はありません。ポンプ内部には金属接触がなく、液膜により完全にシールされているためモレがなく、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 ■経済性 高効率設計により経済性を追求、大幅に消費動力を削減します。（2作動型に比べ30％の省エネが可能）液封構造によりガスのリークはありません。高価なガスの圧送、圧縮に効果的です。 ■低騒音 シャフト1回転で羽根車のセルの数だけの吸引・圧縮が連続的に行われるため、脈動・振動がありません。また消音セパレータとの組合せにより騒音は極めて低く押えられます。 ■耐久性 シンプル構造と堅牢構造に加え、ポンプ内にシール部以外の摺動部や機械的接触がないため、耐久性に優れています。側気口構造のため磨耗に強く、内気口型のものに比べて長期間高性能を維持します。 ■清浄性 油回転式のようなオイルミス卜の発生がなく、清浄な環境を守ります。
高効率！エンドレス方式で省エネ・低騒音のドライ真空ポンプ
『ドライ真空ポンプ』は、エンドレスケーシングで高効率の 真空システムです。 ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音・低振動。 内部潤滑剤を使用しないため、高真空側への油の逆流がなく、 きれいな真空が得られます。 吐出側にオイルミストの飛散もなく、作業環境及び作業者の健康を守ります。 大気圧からの運転が可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。 【特長】 ■分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易 ■摩耗がないため長期連続運転ができ維持管理も簡単 ■凝縮性気体のドレン回収も可能 ■構造が簡単で、耐久力抜群 ■軸封はドライシール方式 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【お問い合わせは正規代理店のエイチアールディーまで！】
【カップリング直結型】優れた安全性、経済性！低騒音を実現する液封式（水封式）真空ポンプです。
ニクニの液封式（水封式）真空ポンプは安全性＆経済性に優れています。 カップリング直結型、ベルト掛け液封式真空ポンプ「LV102/LV202」は、羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、水や水蒸気を含んだガスの移送でも全く支障はありません。 ポンプ内部には金属接触が無く、液膜により完全にシールされるため漏れが無く、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 高効率設計により経済性を追求し、大幅に消費動力を削減しています。 【特長】 ・安全性に優れている ・経済性に優れている ・低騒音を実現 ※液封式（水封式）真空ポンプの詳細はカタログをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(200μm)採用。独自の立形構造により凝縮液の回収を容易に。
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。 また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。 【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。
省スペース化に貢献！クリーン環境用低発じんグリースCGLを封入し、発じんを抑制
『TC…EB』は、軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブル「TE」を ベースに、テーブル内部の密閉性を高めた構造の位置決めテーブルです。 強力マグネットシートで確実に吸着し、駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉。 密閉空間から空気を吸引することで周辺への発じんを防ぎ、IKO測定法による 清浄度評価で、クラス3を実現しています。 【特長】 ■軽量・低断面・コンパクトなクリーンテーブル ■清浄度クラス3に対応 ■高耐食性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【新製品】印刷機や製本機に最適なオイルフリーコンビネーションポンプです。
１ポンプでバキューム（真空）とブロワの両方を使用できるコンビネーションポンプです。印刷、製本、製袋工場に最適です。 【特長】 ■オーバーホールサイクル20,000時間を達成 ■メンテナンス性向上 ■排気温度を大幅に低減（アフタークーラ仕様） 【仕様】 ■真空度 0～60kPa ■圧力 0～70kPa ■モータ出力 5.5kW ■風量 0～118m3/h ※オイルフリーコンビネーションポンプ（1ポンプ仕様）はトップランナー対応高効率モータを搭載しています。
今までにない小型のベルト式の真空包装機です。
株式会社西原製作所は、1953年の会社設立以来、一貫して"包装"主に食品分野に関する業界において、その「保存」「包装」「生産」技術に長年の間注力し、当初インパルスシール機の開発に着手し、その後真空包装機・ガス充填機・袋詰シール機・トレーガス充填機・及び関連装置のメーカーとして技術開発を進めてきました。コンベアーコンパクトタイプ 真空包装機 AVP-5000は、コンパクトなベルト式自動真空包装機です。タッチパネルの採用により作業内容・故障箇所の把握が容易です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力100Pa以下に対応。
■高真空、到達圧100Pa[abs] 以下。 大気圧から到達までのフルレンジを実現した高真空ポンプ。 ■コンパクト設計。 低床設計されたポンプは各種装置への組込みが可能。 ■オイルフリー。 排気がクリーンのため周囲をオイルで汚しません。 ■先進性能を搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。
エアー駆動ノズル式脱気真空包装機(スタンドタイプ) パッケージの酸化・腐食防止のための真空包装機器
ノズルを介して封筒の内部を直接真空で接着することで、作業速度が速く操作が簡単です。 空気圧式真空包装機とは異なり、駆動時に外部エアコンプレッサーを必要とせず、真空センサとデジタルタイマーが内臓され、真空度（単位：kPa）、時間（単位：0.1秒）を微調整でき、温度センサが内臓されて温度を調節して包装が可能です。 また、多様なオプション機能を利用して複数の産業分野に適用が可能で、棚を利用した大型、重量物包装も可能です。
使いやすさを徹底追及したデザインの真空パックロボ
●ワンプッシュで、脱気からシールまで全自動 基本操作はスタートとセレクトボタンの2つのみ。 全自動と手動の作業の切り替えが可能になり、お好みでご使用になれます。 ●水分の多い食材も脱気シール可能 集水カップを内蔵しているので、空気と一緒に液体が内部に入っても、慌てる事なく安心して使用できます。 ●全世界対応の内蔵型アダプタ採用（100～240V) 先端プラグの形状を変更するだけで、世界中の様々な地域、場所でご使用になれます。 ●稼働状況が一目瞭然のLEDランプ表示機能 選択している機能により点灯方式が変わるので、一目で稼働状況が分かります。 ●強力な吸引力を実現 脱気性能－80ｋPaを実現し、従来品より130％の性能アップ。（メーカー比） ●脱着ノズル構造でお掃除も簡単に 吸気部のノズルが簡単に脱着でき、袋の触れる部分のお掃除もラクラク。 安心して清潔にご使用になれます。 ●省電力を実現したエコ設計 消費電力200Wは、１時間（100回）使用しても、電気代約４円。（メーカー調べ）
オリオン機械/真空ポンプ。新開発高効率ロータを使用(非接触・ブレードレス)、先進性能を搭載したベーシックモデル。
■先進性能を搭載したベーシックモデル。 新開発高効率ロータ(非接触)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。耳障りとなる低周波領域(主に300Hz以下)を大幅に低減しました。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)は、デジタル解析技術により最適なロータ曲線を実現。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。 ■PTFEシールの採用でドライ摺動を実現。 シール部の最適設計により、ポンプ室へのオイル侵入を遮断。
オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省エネを実現させたインバータモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84％の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84％の省エネが可能。 真空ポンプの負荷状態を自動認識。インバータ制御により同じ真空度でも大幅な省エネを実現。 ■非接触ロータと2重パッケージ構造で更に静音。 環境改善となる低運転音。非接触ロータとの相乗効果で60Hz運転でも65dBを達成しました。 ■インテリジェント液晶パネルで簡単操作。 運転状況の把握や各種設定を液晶パネルで確認・操作できます。 ■スマート設計で設置性向上。 面壁付けが可能、もちろん上方排気設計。背面と側面の2面を壁付けできます。
エアー駆動ノズル式脱気真空包装機(傾斜作業台タイプ) パッケージの酸化・腐食防止のための真空包装機器
ノズルを介して封筒の内部を直接真空で接着することで、作業速度が速く操作が簡単です。 空気圧式真空包装機とは異なり、駆動時に外部エアコンプレッサーを必要とせず、真空センサとデジタルタイマーが内臓され、真空度（単位：kPa）、時間（単位：0.1秒）を微調整でき、温度センサが内臓されて温度を調節して包装が可能です。
【カップリング直結型】低騒音で耐久性に優れ、高度の清浄性を有しています。
ニクニの液封式（水封式）真空ポンプは安全性＆経済性に優れた液封式（水封式）真空ポンプです。 ■安全性 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、水や水蒸気を含んだガスの移送でも全く支障はありません。ポンプ内部には金属接触が無く、液膜により完全にシールされるため漏れが無く、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適した液封式（水封式）真空ポンプです。 ■経済性 高効率設計により経済性を追求しました。大幅に消費動力を削減しています。(2作動型に比べて30％の省エネが可能となりました。)水封構造によりガスのリークは皆無で、高価なガスの圧送・圧縮に効果的です。 ■その他・・・ 低騒音を実現します。 シャフト1回転で羽根車のセルの数だけ吸引・圧縮が連続的に行われるため、脈動・振動がありません。また、消音セパレータとの組合せにより騒音は極めて低く押さえられます。 ※液封式（水封式）真空ポンプの詳細はカタログDL頂くか、お問い合わせください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバック／ULVAC】
A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
