油拡散真空ポンプ
簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ
【特徴】 ○10 000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
真空ポンプ(内部構造) - 企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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製品一覧
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【化学業界向け】ドライ真空ポンプ
水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ
◆化学業界において、 水封式真空ポンプからドライポンプへ 置き換える際に、 様々な吸引物により、 一般的なドライ真空ポンプでは 不具合が発生することがありますが、 当社のドライ真空ポンプは 吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、 安定した連続運転が可能です。 ◆一般的なドライ真空ポンプでは、 少量でも内部に 凝固性ガス・粉体・生成物・液体（凝縮性ガス）を 吸引すると、 故障の原因となりますが、 当社のドライ真空ポンプは 独自設計のスクリューロータにより、 吸引物を排出します。 ◆オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、 内部に残った吸引物を 洗い流す作業が可能です。 ◆オプションのシール・パージセットにより、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、 メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、 ドライポンプ単体にまとめることができ、 簡略化・省スペースになります。 ◆設置場所にて、分解作業（状態確認・消耗品交換・内部洗浄）ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。
- 企業：神港精機株式会社 東京支店
- 価格：100万円 ~ 500万円
ドライルーツ式真空ポンプ
ケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプ！
油回転ポンプ・水封式ポンプの様にケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプです。 ユニークなドライ真空ポンプとして 業界注目の的です。
- 企業：株式会社アンレット
- 価格：応相談
スペック社 【ＶＩシリーズ】節水型 水封式真空ポンプ
シングルステージ、バルブ付きポンプモーター一体型水封式真空ポンプ、メカニカルシールタイプ。欧州CE標準（UL GBにも対応）
水封式真空ポンプ【ＶIシリーズ 】は内部水抑制システム搭載により、真空に必要な封水の使用量を最大限に抑えます。 また水封式真空ポンプの構造により、水分を含んだガスの吸引も可能です。 またサイズも0.18kwの超コンパクトサイズからご用意しております。 デザインとＯリングシールで、メンテナンス時の分解や組み立てが簡単です。 またスペックポンプは欧州CEマーク標準（アメリカULマーク 中国GBマークにも対応）です。その他にはRoHS対応もしています。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社スペック・ジャパン 大阪本社/東京支店
- 価格：応相談
ドライルーツ式真空ポンプ 総合カタログ 【※無料プレゼント中！】
ケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプ総合カタログを無料プレゼント中！
油回転ポンプ・水封式ポンプの様にケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプです。 ユニークなドライ真空ポンプとして業界注目の的です。 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くかカタログをご希望のお客様は「カタログ希望」と記載の上、お問い合わせください。
- 企業：株式会社アンレット
- 価格：応相談
液封式（水封式）真空ポンプ LVFD/LVSD
【モータ 一体型】低騒音で耐久性に優れた、小型液封式（水封式）真空ポンプです。
ニクニの液封式（水封式）真空ポンプは安全性＆経済性に優れています。 ■安全性 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、ミストや水蒸気を含んだガスの移送も全く支障はありません。ポンプ内部には金属接触がなく、液膜により完全にシールされているためモレがなく、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 ■経済性 高効率設計により経済性を追求、大幅に消費動力を削減します。（2作動型に比べ30％の省エネが可能）液封構造によりガスのリークはありません。高価なガスの圧送、圧縮に効果的です。 ■低騒音 シャフト1回転で羽根車のセルの数だけの吸引・圧縮が連続的に行われるため、脈動・振動がありません。また消音セパレータとの組合せにより騒音は極めて低く押えられます。 ■耐久性 シンプル構造と堅牢構造に加え、ポンプ内にシール部以外の摺動部や機械的接触がないため、耐久性に優れています。側気口構造のため磨耗に強く、内気口型のものに比べて長期間高性能を維持します。 ■清浄性 油回転式のようなオイルミス卜の発生がなく、清浄な環境を守ります。
- 企業：株式会社ニクニ 本社、本社営業部、大阪営業所、名古屋営業所、福岡営業所
- 価格：応相談
オイルフリー真空ポンプ KCM620
オリオン機械/真空ポンプ。業界初のモジュールデザインを採用。省エネ性能が更に進化した高真空・大流量モジュールマルチモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0～100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
オイルフリー真空ポンプ KCM310
オリオン機械/真空ポンプ。真空度100kPa対応。制御盤・インバータをワンパッケージ化したモータ出力5.5kW仕様。受注生産品。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0～100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
液封式（水封式）真空ポンプ LV102/LV202
【カップリング直結型】優れた安全性、経済性！低騒音を実現する液封式（水封式）真空ポンプです。
ニクニの液封式（水封式）真空ポンプは安全性＆経済性に優れています。 カップリング直結型、ベルト掛け液封式真空ポンプ「LV102/LV202」は、羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、水や水蒸気を含んだガスの移送でも全く支障はありません。 ポンプ内部には金属接触が無く、液膜により完全にシールされるため漏れが無く、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 高効率設計により経済性を追求し、大幅に消費動力を削減しています。 【特長】 ・安全性に優れている ・経済性に優れている ・低騒音を実現 ※液封式（水封式）真空ポンプの詳細はカタログをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：株式会社ニクニ 本社、本社営業部、大阪営業所、名古屋営業所、福岡営業所
- 価格：応相談
オイルフリー真空ポンプ KCPHシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力100Pa以下に対応。
■高真空、到達圧100Pa[abs] 以下。 大気圧から到達までのフルレンジを実現した高真空ポンプ。 ■コンパクト設計。 低床設計されたポンプは各種装置への組込みが可能。 ■オイルフリー。 排気がクリーンのため周囲をオイルで汚しません。 ■先進性能を搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
オイルフリー真空ポンプ KCPシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。新開発高効率ロータを使用(非接触・ブレードレス)、先進性能を搭載したベーシックモデル。
■先進性能を搭載したベーシックモデル。 新開発高効率ロータ(非接触)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。耳障りとなる低周波領域(主に300Hz以下)を大幅に低減しました。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)は、デジタル解析技術により最適なロータ曲線を実現。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。 ■PTFEシールの採用でドライ摺動を実現。 シール部の最適設計により、ポンプ室へのオイル侵入を遮断。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
オイルフリー真空ポンプ インバータモデル KCEシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省エネを実現させたインバータモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84％の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84％の省エネが可能。 真空ポンプの負荷状態を自動認識。インバータ制御により同じ真空度でも大幅な省エネを実現。 ■非接触ロータと2重パッケージ構造で更に静音。 環境改善となる低運転音。非接触ロータとの相乗効果で60Hz運転でも65dBを達成しました。 ■インテリジェント液晶パネルで簡単操作。 運転状況の把握や各種設定を液晶パネルで確認・操作できます。 ■スマート設計で設置性向上。 面壁付けが可能、もちろん上方排気設計。背面と側面の2面を壁付けできます。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
スクリュー式ドライ真空ポンプ
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- 価格：応相談
乾燥装置用縦型ドライ真空ポンプ『TRVシリーズ』
縦型のダウンフロー構造により、凝縮液の発生に対して極めて強靭な乾燥装置用ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
