マイカ基板上の金(Au)蒸着膜
単分子膜などの走査型プローブ顕微鏡での観測用の基板として最適な Au 蒸着膜
簡単な処理で、大気圧中で安定かつ方位が揃った平滑なテラスが揃った表面構造を作製可能
- 企業:株式会社ユニソク
- 価格:応相談
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単分子膜などの走査型プローブ顕微鏡での観測用の基板として最適な Au 蒸着膜
簡単な処理で、大気圧中で安定かつ方位が揃った平滑なテラスが揃った表面構造を作製可能
時代はY2O3からYOFへ!エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、パーティクル低減、装置稼働時間が大幅アップし、生産性向上!
イオンアシスト蒸着法によるYOF膜(酸フッ化イットリウム膜)は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半導体不足が問題となっている昨今、歩留まり向上と装置稼働時間のアップは半導体製造業者にとって至上命題といえます。最先端の製造ラインに導入された、イオンアシスト蒸着法による保護膜は、ドライエッチング装置部品の保護膜として、また、定期的メンテナンスにおける再生としてご利用いただけます。
特徴ある金属蒸着膜(ミラー・NDフィルター)製品をご紹介いたします。
CBCオプテックスでは、特徴ある金属蒸着膜製品として、「多品種アルミニウムミラー」「多品種金属ミラー」「NDフィルター」をご用意しております。 「多品種アルミニウムミラー」は、アルミニウムに保護膜を付けて、酸化や傷から金属膜を保護したミラーです。 「多品種金属ミラー」には、アルミニウムミラー、金ミラー、銀ミラー、銅ミラーなどがございます。 「NDフィルター」は、レンズに入る光の量を減少させるフィルターです。酸化クロムを積層して、表面反射を抑えたコートや、誘電体膜をオーバーコートして、経時変化を抑えるコートを行っております。 【特長】 [多品種アルミニウムミラー] ○お客様のニーズに合わせて保護膜を設計し、最善の反射率をご提示可能 [多品種金属ミラー] ○測定機器、レーザー機器、医療、光学画像、自動車等に最適 [NDフィルター] ○撮影の際の絞りを開いたり、シャッタースピードを下げることが可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。