TOF-SIMSによる表面分析
TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。
■TOF-SIMS 3つの分析モード ・高分解能質量スペクトル ・深さ方向分析 ・表面の面分析
- 企業:株式会社アイテス
- 価格:応相談
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TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。
■TOF-SIMS 3つの分析モード ・高分解能質量スペクトル ・深さ方向分析 ・表面の面分析
最表面だけでなく、30nmの深部まで ~表面と材料内部の化学状態を同一箇所・非破壊で定量評価!~
XPS/HAXPESによる新サービスを6月より開始しました! 複雑化する材料や微細構造試料に対し、表面から材料内部(~30nm)までの組成・化学結合状態を、同一箇所・非破壊で評価できます。 ・着目の元素や分析対象領域・深さに応じてX線源(Al Kα/Mg Kα/Ga Kα/Cr Kα)を使い分け、適切な測定条件での評価を実現 ・大気非暴露測定、 Arモノマー/GCIBスパッタエッチング、加熱前処理の併用が可能 ・UPS/LEIPSによる半導体試料の電子状態評価(イオン化ポテンシャル/電子親和力/バンドギャップ)が可能
★ポリイミドフィルムの合成・高接着化・薄膜化・低反発弾性化・最新研究トピックス
【講 師】第1部:東レ・デュポン(株) カプトン技術・開発部 開発課 石川 裕規 氏 第2部:(株)東レリサーチセンター 表面科学研究部 表面解析研究室 室長 中川 善嗣 氏 【会 場】川崎市教育文化会館 第2学習室【神奈川・川崎】 【日 時】平成22年12月16日(木) 13:00~16:15 詳細確認またはお申込をご検討されている方はURLをご利用ください ⇒ http://ec.techzone.jp/products/detail.php?product_id=1265