マニュアル塗布装置/現像装置 Litho Spin Cup
研究開発用途から生産まで幅広いニーズに応える マニュアルスピンコータ、マニュアルスピンデベロッパ
リソスピンカップシリーズは、マニュアルでありながら自動塗布/現像装置と同等のスピンユニットを採用しているため、オートディスペンサ、各種リンス、廃液自動回収、カップ排気等に標準で対応しています。簡単かつ安全に高精度なレジスト処理が行えます。 また、プライマディスペンサ、薬液温調、ファンフィルタユニット、温度/湿度コントローラなど様々なオプションをご用意しており、高度な塗布処理/現像処理が行えます。 リソテックジャパンでは、基本的にお客様が使用される塗布薬液（レジスト、ポリイミド、絶縁膜等）やウェーハサイズおよび用途に合わせて設計・製造を行い、洗練された装置のご提供を行っております。
- 企業：リソテックジャパン株式会社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
