更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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小型かつ高精度・高剛性を実現した6軸マニピュレータをご紹介いたします！
『MPS-SSSD-B010』は、液晶プロジェクタ、CCDカメラの素子を貼り付ける 際の微細な位置決めに好適な小型6軸マニピュレータです。 従来製品と比較して、小型化、軽量化、高剛性化を同時に実現。高さを50% ダウン、幅を40%ダウン、重量を30%ダウン、剛性を30%アップいたしました。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■小型 ■高精度 ■高剛性化 ■微細な位置決めに適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低コストと高機能を両立したロッドタイプ単軸ロボット
■コンパクト・・・ＹＭＳシリーズのビルトインモータは、カップリングレス構造のコンパクト設計。業界同クラス最短の全長を実現しました。 ■高いメンテナンス性・・・ビルトインモータはボールネジに直接設置する構造ながら、モータのみの取り外しも可能。高いメンテナンス性を確保し、万一の場合も短時間での復旧が可能です。 ■長寿命・・・ボールネジナット部には高含油ファイバーネットによる潤滑装置、ロッド支持部には接触スクレーパを装備し、長期メンテナンスフリーを実現。分解しての給脂作業が難しいロッドタイプだからこそ長期メンテナンスフリーが重要です。更に接触スクレーパはロッド伸長時のガタツキを小さくする動きも備えています。 ■高信頼性・・・位置検出機構にレゾルバを採用し高い環境性をも備えています。 ■低価格・・・高機能ながら低価格を実現。新たにパルス列入力機能を追加した多機能コントローラＥＲＣＤと併せ、システム構築に必要な時間とコストを軽減します。 ■アブソリュート機能・・・ＥＲＣＸコントローラを組み合わせることで、電源投入時の原点復帰が不要なアブソリュート機能を使用することができます。
ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現
『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、 回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。 ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより 高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に 構築することができます。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の内部構造によりサブミクロンの位置決めが可能に！当社の精密ポジショナーをご紹介
『FPP03-13』は、高分解能の位置決めを手動で可能にする 精密マイクロメータです。 独自の内部構造により、サブミクロンの位置決めが可能になりました。 最小読取りは0.5μm/1目盛（微動部）、軸方向負荷は最大5Kgf以下 （49N以下）となっております。 【仕様（一部）】 ■構造 ・粗動：送りネジ方式 ・微動：送りネジ＆レバー ■移動量 ・粗動：13mm（0.5mm/1回転） ・微動：0.3mm（25μm/1回転） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上！高精度チルトアライメントに好適な□100mmサイズ登場！
『ボールネジ駆動スイベルステージ』は、より高分解能での制御が 可能な製品です。 重量が2.8Kg→2.0Kgと28%減少し、ボールネジ駆動で耐久性が大幅に向上。 ウェハーのアライメント等に適しており、ワークの上下に自由な 空間が生まれ、設計の自由度が高まります。 【特長】 ■より高分解能での制御が可能 ■重量が28%Down、2.8Kg→2.0Kg ■ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サブミクロン分解能で、6自由度の正確な位置決めが可能！用途に応じた好適な組み合わせをご提案
当社が取り扱う6軸マニピュレータ『MPS/SMR/USMシリーズ』をご紹介します。 様々なステッピングモーターやサーボモーターを自由に選択可能。 “回転中心下向き”をはじめ、“逆さ使い”“全軸ボールネジ駆動”など 組み合わせが自在です。 位置決め後のワークに対する加圧を前提とした高強度設計となっており、 高分解能タイプやストローク変更など、50パターンの豊富な製作実績もございます。 【特長】 ■手のひらサイズの超小型 ■0.05μmを手動で操作 ■ズレない6軸 ■30kg高荷重もサブミクロンで ■組み合わせ自在 ■モーターを自由に選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
直動運動＋回転運動の駆動要素を同一平面上に配置した薄型ステージ！
『アライメントステージ(NTX形)』は、直動運動＋回転運動の駆動要素を 同一平面上に配置した薄型ステージです。 回転中心位置の自由設定が可能。 サイズやストローク、透過穴等用途に合わせた特殊仕様に対応もできます。 詳細はお気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■NTX-C15-AC ■NTX-C25-AC ■NTX-C35-AC ■NTX-A50-AC ■NTX-A60-AC ■NTX-A70-AC ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ACサーボモータステージ搭載！XYZ軸を高速駆動させながら測定データ収集などが行えます
『RAP3-ACシリーズ』は、測定/加工対象物を固定し、各種センサや加工ツールを 高速駆動させたい要求に対応したACサーボモータステージ搭載タイプの 精密卓上型3軸ロボットです。 お客様の様々なご要望や仕様に合致したカスタマイズ対応が可能。 ガントリー(門型)方式の採用により、高速にXYZ軸を駆動させながら、 高精度に位置ごとの測定データ収集や加工が行えます。 【特長】 ■ACサーボモータステージにより、センサヘッドやツールを高速・高精度XYZ移動 ■高速駆動/高精度トリガ機能 ■セミクローズドループ制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
XYZ軸＋A軸(回転軸)4軸制御！3次元データによるモデリング加工が容易です
『RAP4』は、XYZ軸(3軸)駆動するRAP3標準タイプに回転軸を付加した カスタマイズロボットタイプの精密卓上型4軸ロボットです。 卓上型でありながら、容易に3次元データによるモデリング加工可能。 お客様の様々なご要望や仕様に合致するカスタマイズが行えます。 【特長】 ■XYZ軸＋A軸（回転軸）の4軸制御。バックラッシュレスのハーモニックギヤ回転機構 ■クローズドループ制御ステッピングモータを搭載 ■大容量の3Dデータの加工に好適なDNC運転が可能 ■工具長補正機構付き ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
高い追従性0.1μm±20nmを実現！サブミクロンでのステップを綺麗に刻みます
『RSTアライナー』は、駆動ユニットをバランスの取れた正三角形に 配置した超高精度アライメントステージです。 この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にしました。 制御に必要な計算式は無償提供いたします。 モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、 感度良く追従します。 【特長】 ■バランスの取れた正三角形配置 ■専用設計の駆動ユニット ■大口径透過穴 ■テーブルサイズ自在 ■Z機構の追加可能 ■カスタム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
繰返し位置決め精度±0.002mm以下！さまざまなツールと組み合わせるだけで簡単に専用カスタマイズロボット
『RAP3』は、汎用の産業用ロボット、卓上ロボット、3軸ロボットでは、実現できなかった 高精度・高剛性・カスタマイズ対応を実現する精密卓上型3軸ロボットです。 研削ボールネジを用いて、業界最高クラスの位置再現性±2μmを保証。 Gコードを用いた精密加工から、Excelをベースとした計測システムまで 様々なアプリケーションにご利用いただけます。 【特長】 ■3次元空間での高精度位置決めが自由自在 ■高精度繰り返し位置決め精度±2μｍ ■お客様のツールを組み合わせれば、簡単にカスタマイズロボットとして使用できる ■PCダイレクト通信によるコマンド制御用のサンプルプログラムをご用意 ■ストローク・精度などお客様の仕様にあわせ多種多様なカスタマイズに対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
自由波形の駆動は解析に余裕のある64秒まで設定可能！様々な振動を再現します
『TSSシリーズ』は、デジタルカメラ・カムコーダやモバイル端末、監視 カメラまで様々な画像機器に搭載されるブレ補正機能の検証を行うもので、 手ぶれなどによる振動の再現ができるシミュレータです。 軸構成がθX,θY、θZの「TSS-1000」と、θX,θZの「TSS-M0210Y」を ラインアップ。 近年、高倍率化・高画素化が進むカメラにはブレ補正が必須となり、 なかでも重要な自由振動波形駆動に対応可能な振動台となっております。 【特長】 ■高性能ピッチ・ヨー・ロール ■タッチパネル採用のコントローラ（TSS-1000のみ） ■簡単・使いやすいソフトウェア ■装置全体を搭載する箱型定盤もご用意（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コストとパフォーマンスを高い次元で融合した全く新しい高性能単軸ロボットです。
■新世代の駆動コンポーネント『シャフトモータ』 コンパクトながら高推力を誇る新世代の駆動ユニットです。マグネットシャフト内に配列された磁石から発生する磁束をムービングコイルが無駄なくキャッチ。高い効率で推力に変換します。しかも、フレームが不要なため、コンパクトかつ軽量です。 ■リニアスケール ヤマハの卓越した磁気信号検出技術に支えられた、独自開発の磁気式スケールです。1μmの高い分解能と低コストを両立しています。スケールは保磁力が高く、熱膨張や経年変化に強い金属製。磁気式ですからグリスや切削液がかかるような悪環境でも問題無く使用可能です。 ■断熱構造 発熱による問題が起こりがちなムービングコイル方式ですが、PHASERでは断熱層を設けることによりムービングコイルから発生する熱をテーブルに伝えにくくしています。またムービングコイルには放熱フィンが一体化され効率よく放熱を行いますので、安心してお使いいただけます。
