シリコンウエハー専用 酸素分析装置『O836Si』
非分散型赤外線検出法を採用！高精度の酸素分析装置をご紹介
『O836Si』は、シリコン業界における低濃度・高精度酸素分析の需要に 応えるために開発された、シリコンウエハー専用酸素分析装置です。 高い精度を誇る非分散型赤外線検出器、最新のサンプルローディングシステムとプログラム可能なインパルス炉の組み合わせで正確・高精度な酸素分析を可能にします。 また、Windowsベースのシステムを採用し、高い操作性を実現しています。 【特長】 ■低濃度用の高精度なソリッドステート赤外線検出器 ■低いシステムブランクとウエハ測定用のローディングヘッドデザイン ■測定結果はppmaでの表示も可能 ■Windowsベースのオペレーティングシステム ■シリコンウエハー、鉄鋼などの金属の分析が可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：LECOジャパン合同会社
- 価格：応相談
