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一般産業用の低真空領域でお使い頂けるスクロールタイプの真空ポンプです。
EDOシリーズは、スクロールタイプのドライポンプです。 真空室は、2つのスクロールで構成されており、1つが固定、もう1つが偏心状態で回転しながら、 対象ガスを閉じ込め、圧縮、排気を行い、到達圧力能力は150Paを有します。 全ての圧力帯で連続運転が可能であり、シンプル構造でお客様サイトでのメンテナンス対応も可能です。 ガスバラスト機能による高い水蒸気排気能力と、大気圧近くのモーターの負荷が高い気体をバイパスして排気させるブローオフバルブによる消費電力の低減を実現します。 モーターは空冷であり、周波数は50/60Hzに対応致します。
SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示！
★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期： 2023年12月13日（水）～15日（金） 会場： 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ：業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ：フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ：超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 推奨60kPa以下(最高80kPa) ※KRF15Aは最高75kPa ■常用排気圧力 推奨60kPa以下(最高70kPa) ■流量 280～685L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により30％アップ(当社従来比)
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 KRF04A：55kPa以下 KRF08A：推奨60kPa以下(最高75kPa) ■常用排気圧力 KRF04A：50kPa以下 KRF08A：推奨60kPa以下(最高70kPa) ■流量 75～155L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により2～5dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により20％アップ(当社従来比)
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 推奨60kPa以下(Vタイプ) ■常用排気圧力 推奨80kPa以下(Bタイプ) ■常用圧力 推奨真空度と排気圧力の合計で60kPa以下（V・Bタイプ） ■流量 280～685L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応・RoHS指令対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により30％アップ(当社従来比) 【用途】 印刷・製本機材・包装機・自動機などの真空源
業界トップクラスの基本性能
•クリーンアプリケーション用途 •長期メンテサイクル、約2年半（22,000時間）連続運転が可能 ※ACP15は20,000時間 •パーティクルレスでクリーンな排気 •空冷式：冷却水不要 ※ACP120Gのみ水冷仕様 •Heリークレート5×10-9 Pa m3/s ⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合 •様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意 1. 標準モデル：クリーンプロセス用 2. Gバージョン：腐食性ガス排気用 3. CVバージョン：水蒸気排気用 4. CPバージョン：ガス循環用 5. Rバージョン：耐放射線仕様 •多彩なオプションをご用意：パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等 •単相/三相モーター選択可能
業界トップクラスの基本性能
A100L / A200L •ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ •低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用による低消費電力化を実現 •コンパクト設計 設置面積 0.17m2 縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能（吸気口向き水平のみ） A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど） •省エネ、省スペース A4シリーズ •マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現 •ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制 •耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化 •優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長 •拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等） •ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止 •IP33、SEMI S2およびULに準拠
