更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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FE電子銃でさらに美しく！フロアモデルに迫る高分解能を卓上SEMで実現
当社が取り扱う、卓上走査型電子顕微鏡『Phenom Pharos』を ご紹介いたします。 ナノ～サブミクロンレベルの解析を実現。 誰でも簡単、スピーディに高分解能観察ができます。 また、3Dや粒子、細孔などを測ることも可能です。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■FE電子銃搭載 ■誰でも簡単、スピーディに高分解能観察 ■観察＋α(3D、粒子、細孔、繊維) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
設備で発生したトラブルの真の原因を究明することで、効果的な対策立案が可能となります！
設備トラブルで損傷した部位を詳細に解析することで、発生したトラブルの真の原因を究明し、対策を提案して再発防止や改善に役立てていただけます。東レグループでの４０年以上の経験と専門知識をベースに電子顕微鏡や成分分析装置など各種ツールを駆使してお客様の疑問にお答えします。 【解析装置例】 ■走査型電子顕微鏡（SEM） ■エネルギー分散型X線分析装置（EDS） ■硬度計 ■各種光学顕微鏡 等
走査型電子顕微鏡（ＦＥ-ＳＥＭ）による表面観察を受託いたします：分解能（感度等）：～２０万倍
■試料をお送り頂きますと、試料台作成～画像撮影～画像ファイル（jpeg）変換を行い、お送り致します。 ■格安料金を設定しておりますので、ぜひご利用下さい。
SEM-EDXによる形状観察及び簡易定量分析
半導体ウェハ製造プロセスにおけるパーティクルの制御は、ウェハの品質を担保する上で非常に重要です。本事例では、Siウェハ上パーティクルのSEM観察及びEDX分析と簡易定量(※1)によって、パーティクルが何かを推定しました。サブミクロンの高い空間分解能を持ち、数cmの領域を走査できるSEM装置では、形状及び組成情報からウェハ上のパーティクルが何かを速やかに推測でき、発生工程を素早く特定することができます。欠陥検査装置の座標データとリンクした分析も可能です。
最大200nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応！分析能力も強化
広視野全体像から表面微細構造まで、短い時間で多くの情報を取得できる 「FE-SEM」を導入した事例をご紹介いたします。 表面微細構造、組成、結晶学的情報、形状情報など多彩な イメージング能力を装備。 複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、これまでより 短い時間で多くの情報を得られるようになりました。 【事例概要(抜粋)】 ■導入製品：HITACHI製SU7000 ・電子源：ZrO/Wショットキータイプエミッター ・二次電子分解能：0.8nm(加速電圧 15kV)、0.9 nm(加速電圧 1kV) ・加速電圧：0.1～30kV ・倍率：20～2,000,000倍(装置スペック) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
