帯電防止PEEKコーティング - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

半導体搬送の静電気・ゴミ対策に！帯電防止PEEKコーティング

【歩留まり向上】PEEKコーティングの耐摩耗性と優れた帯電防止機能を両立。搬送ハンドの静電気を抑え、パーティクル付着を低減。

高度なクリーン環境が求められる半導体・電子部品の製造工程において、シリコンウエハやガラス基板を移送する搬送ハンド（ロボットハンド、エンドエフェクタ）の静電気・パーティクル対策は、歩留まりを左右する重要課題です。 従来の「PEEK樹脂の削り出し成形品」は、連続稼働による摩耗粉（パーティクル）の発生に加え、樹脂特有の帯電性によって摩耗粉や周囲のゴミを吸着し、回路パターンの不良を招く原因となっていました。 ■帯電防止機能付きPEEKコーティング「PEEKCOAT N04blk」 ・PEEK樹脂が持つ本来の優れた機械特性や耐薬品性を維持しつつ、塗膜に帯電防止機能を付与。 ・摩擦静電気の発生を極小化し、周囲の微細なパーティクルを寄せ付けない表面環境を実現します。 ・部品表面に滑らかで平滑な塗膜を形成するため、デリケートなワークに接触してもキズをつけず、クリーンルーム内の発塵を抑制。