抵抗加熱蒸着装置DH300ＨＤ
拡張性、操作性、安全性はSDタイプ同様に充実しています。
DH300HD（G/M）は低騒音タイプの磁気浮上型TMPを搭載したハイグレードタイプで、メインのアングルバルブと粗引きラインを配置することによりTMPの汚染を防止するとともに、ポンプを停止することなく試料交換を行うことが可能です。さらに蒸着モニタを標準装備していますので、より精度の高い膜厚制御や自動成膜を行うことも可能となります。
- 企業：有限会社ダックハウス
- 価格：500万円 ~ 1000万円
抵抗加熱蒸着装置×有限会社ダックハウス - 企業1社の製品一覧
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抵抗加熱蒸着装置DH300SD
標準仕様は抵抗加熱蒸着源タイプでSDGはガラスベルジャSDMはメタルベルジャ（いずれもマニュアルハンドリング）仕様となります
DH300SD（G/M）は立上りの早い広帯域TMPを搭載させたφ300のベルジャ型高真空排気装置に蒸着源を組み込んで構成された汎用型の小型蒸着装置です。イニシャルのコストパフォーマンスに重点をおき、半導体や光学、電子部品など広範囲の用途において研究開発や準生産向けに拡張性を持たせたシステムとして構成しています。
- 企業：有限会社ダックハウス
- 価格：500万円 ~ 1000万円
