IPAミスト直接置換乾燥装置
IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用したIPAミスト直接置換乾燥装置
当社では、長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で 培ったノウハウをつぎ込み、IPAベーパーレスとマランゴニ対流を利用して 鋭意改善を進め開発した「ウォーターマークレス乾燥装置」をご提案いたします。 洗浄後SiウェハをIPA直接置換乾燥により、大気に曝すことなく、 Siウェハ面を「純水⇒IPA」に直接置換することで、水滴の残留しない 表面を得ることが可能です。 【特長】 ■ウォーターマークレス乾燥 ■パーティクル再付着の抑制 ■IPAベーパーレス ■IPA消費量の削減 ■幅広い乾燥物の乾燥が可能 ■顧客ニーズに応えたカスタマイズ設計 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所 PV事業部
- 価格：応相談
