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半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です
管状炉とは、カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたもので、チューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。 【特徴】 ■精密な温度制御や温度勾配が可能 ・炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、 精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。 ■御要望の電気炉を一台から製作可能 ・小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径 のものまで様々な管状炉を製作しています。 ■カンタル(高温使用できる合金)を耐熱材料や耐熱金具としても加工致します。 (※)ゾーン制御 炉内において部分的に温度を制御する事で温度精度を向上させる技術 【仕様】 ・発熱体 カンタル AF / A-1 / APM ・最高温度 発熱体 約1400℃（炉内最高 約1300℃） ※詳しくはお問い合わせください。
流量・圧力・物温・排気解析を同期ロギング。焼成“前後だけ"からの卒業
当社では、計装重視の「管状炉」を取り扱っております。 途中データが取れず焼成前後の差分しか分からない、サンプリングポートや 背圧制御が無く圧力・流速の当て込みができないなどといった課題を解決。 お客様との相談により、流量(MFC)、圧力計、物温熱電対、 サンプリングライン等を適切なレンジ・仕様で実装します。 【特長】 ■必要な計装を装備：お客様との相談により、流量(MFC)、圧力計、物温熱電対、 サンプリングライン等を適切なレンジ・仕様で実装 ■同期ロギング：温度・流量・圧力を同一タイムスタンプで取得 ■プロセスポートの自由度：入口・出口にサンプリングポート、バイパスライン、 ドレン/凝縮トラップを設計可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
最高温度1000℃！容易にガス雰囲気を実現する管状炉
『ガス雰囲気炉』は、保護缶採用によってガス雰囲気が容易に実現できる 管状炉です。 3ゾーンでそれぞれのゾーンを個別に制御することで、均熱性の精度を向上 させました。 最高温度は1000℃まで上昇させることが出来ます。 【特長】 ■均熱性の精度が向上 ■ガス雰囲気が容易に実現可能 ■最高温度1000℃ ■オプションで加湿器、MFC付加可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
