大型窓Z軸ピエゾステージ MV-20ZD4
レーザー干渉計の高速レンズ位置決め、大口径ミラー位置決めに最適です。
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社メステック
- 価格：応相談
軸ピエゾステージ - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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大型窓（６インチ）Z軸ピエゾステージ MV-20ZD6
レーザー干渉計の高速レンズ位置決めや大口径ミラー位置決めに最適！
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで、 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社メステック
- 価格：応相談
XYZ軸ピエゾステージ『P-611.3/P-616』
パラレルメカニズムのため3軸とも同一性のあるダイナミック特性！
『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。 コスト効率の高いメカニクス／エレクトロニクスシステム構造。 歪みゲージセンサー付きの「P-611.3S」をはじめ、 「P-611.3SF」や「P-616.3C」などをラインアップしています。 【特長】 ■最大100×100×100μmのトラベルレンジ ■きわめてコンパクトで軽量 ■すぐれた分解能と高速応答 ■高速3軸スキャニング ■摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
小型XY軸ピエゾステージ P-620.2~P-629.2
最大1800µmの長ストロークとナノ精度で、微細な位置決めを実現
P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
