『ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃』開発資料のご紹介
ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃の開発資料！
当資料は、電子ビームを用いたウェハ直接描画に使用するマルチコラム・ マルチビームによる並列型電子ビーム露光技術の開発をめざし、コラムと 電子銃等の要素技術開発を進めている株式会社PARAMの開発資料です。 新規素材を用いたSchottkyエミッションによる低温度動作化、炭素材加熱 方式を用いた長寿命化をねらいとしています。 【開発内容】 ■ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社PARAM
- 価格：応相談
