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Trebor社超純水加熱装置QUANTUM NXTシリーズは半導体製造ラインでの洗浄用の超純水を加熱する為の装置です。 特許取得済みのメーカー独自の加熱手法により業界屈指の超高速昇温/降温を可能としている為、設定温度までは約40秒で到達、到達後は流量0で最小限の電力で温度が維持できるので節水、節電もでき環境を配慮したエコ・イノベーションな超純水加熱装置です。
『UFシリーズヒーター』は、応答時間が速く、高精度のプロセス制御を 実現する超純度フレキシブル薬液ヒーターです。 特許取得済みのフレキシブル加熱技術により、限られたスペースにも 設置することが可能。 また、既存のPFA薬液路をフレキシブルなインラインシステムへと進化させた ことにより、使用場所を選ばず、既存の薬液供給装置に容易に組み込むことが できます。 【特長】 ■特許取得済加熱技術 ■トップレベルの応答時間 ■高純度液路 ■窒素パージ不要 ■液気対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
セレスコ社製ワイヤ式変位計PT9420はカナダと欧州の本質安全規格を取得した防爆対応モデルで計測長は最大で13970mmまで対応。 筐体は頑丈なアルミかステンレスのボディから選択可能。 出力は4-20mAでコネクタやケーブルの有無の選択が可能。
セレスコ社ワイヤ式変位計PT8420はカナダと欧州での本質安全規格を取得した防爆対応モデルです。(※指定のツェナバリアーとの併用が必要です。) 計測長は最大で1524mmまで対応し、出力は4-20mAです。 筐体はアルミとステンレス(303と316）から選択が可能です。 保護等級はIP67の耐環境仕様です。
セレスコ社製ワイヤ式変位センサの新製品SPDは4-20mVと0-10VDCの2つの出力を持ち、専用のセンサカバーを装着することにより、保護等級をIP67に対応しているので、屋外などの過酷な環境でも使用できる汎用性の高いワイヤ式変位計です
アルミニウム筐体に精密ポテンショメータを内蔵することによって頑丈かつ小型のワイヤ式変位センサ。 5000万回の長寿命と0.3Nの極小な張力が特徴で、人体の筋肉の変位や植物の成長などの研究や航空機のコックピット内のアクチュエータの変位計測で使用されています。
航空機の構造テストやクラッシュテストをはじめ、様々なテストで変位計測で使用されています。
計測範囲は762ｍmまで 最大加速度は１３６Gまで 張力は最大934ｇ
・小型/軽量/短距離/低価格 ・計測範囲：0～120mmから0～1270mmまで ・保護環境：NEMA1,IP50 ・ワイヤを離しても故障なし
計測範囲：最小0～1905mmから最大0～13,970mmまで それ以上の計測の場合は御相談ください
世界最小の親指サイズなので場所を選ばず使用できます。 出力は精密ポテンショメータ。
・計測範囲：0～2032mm ・低価格/中距離用 ・保護環境：ＩＰ50、ＩＰ67 ・ＳＲ、ＳＰよりも薄型
ワイヤ式なのでアライメントが不要 引き出し方向は4方向から設定可能
Accubath® Ｘｅはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスはもう実用的ではないかもしれません。 このモジュールにより、従来は不可能であった超高温でのプロセスが可能となります。 そして、私達は新たな課題に挑戦するためのシステムを構築しお客様に提供することができます。 Ａｃｃｕｂａｔｈ® Ｘｅシリーズバスの採用によって、お客様の希望するプロセスを安全にまた高い信頼性をもって生産することが可能になると確信できるでしょう。
SR１Mは屋外や防水性を要求される厳しい使用環境用として低価格でハイパフォーマンスを実現したモデルです。
SR１Eは屋外や防水性を要求される厳しい使用環境用とし低価格でハイパフォーマンスを実現したモデルです。
SR1Aは屋外や、防水性を要求される厳しい使用環境用として、低価格でハイパフォーマンスを実現したモデルです。
◆純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動／自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動。 ◆コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給。 ◆Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)の最も有効、信頼性と安定性に富んだシステム。
従来のポンプメンテナンス問題を独自の方法で解決するべく開発された 高清浄、使い捨て設計のエア駆動ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○PFA射出成型により高清浄度と最小部品点数で構成され、高信頼性、 夜漏れなしを達成 ○使い捨て設計によってオーバーホールよりも安価かつ高清浄の状態で 使用ができる ○エラストマ材を使用していないので、故障、交換の必要がない ○金属部品を使用していないので、コンタミの心配がない ○最高使用温度：55℃ ○最大吐出圧力：0.55MPa ○最大吐出量：20L ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
半導体産業において最先端のウェットプロセス装置を提供してきたIMTEC社が自信を持ってご紹介するアキュヒートは、高純度石英を使用しており、高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーターです。 20年以上の経験に基づいて設計製作されたアキュヒートは高性能、低オーナーシップコストを実現しており、石英で使用できる薬品でのプロセスに使用できます。 【特長】 ◆インコーネルヒーターを使用したインラインヒーター ◆外装はテフロン(PTFE)を使用 ◆高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要 ◆耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2) ◆コンパクトサイズ。縦置き／横置き共に設置可能 ◆３KW、６KWタイプ有り ◆24ヶ月保証 ◆メンテナンス不要：ランプ交換、反射鏡のクリーニング、冷却装置が不要。 ◆最適な加熱：高速昇温でありながらオーバーシュートがない温度制御 ◆多種のコントローラーが使用できますので、詳しくはお問い合わせください。
高純度薬液を低流量で吐出する使用で高い実績と信頼！ 100℃までの薬液を毎分20リットル吐出できるエア駆動ダイヤフラムポンプ 【特徴】 ○調節可能なマフラーは高背圧/低流量でも安定した運転を実現 ○最高使用温度：100℃ ○最大吐出圧力：0.41MPa ○最大吐出量：20L ○2重のPFAダイアフラム ○接液部はPTFE/PFA ○長寿命ダイアフラム ○静かな作動 ○エアまたは窒素による安全運転 ○クイックリリースベースによる簡単な取り付け ○クリーンルームでの組立て、テスト、梱包 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
薬液の大流量循環または移送に最適なエア駆動ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○エンストしない設計で、どのような状態からでも運転が可能 ○最高使用温度：100℃ ○最大吐出圧力：0.55MPa ○最大吐出量：83L ○2重のPFAダイアフラム ○ノンメタル ○現場でのメンテナンスが可能 ●その他機能や詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
高い評価を得ているマグナム610を技術的に進化させた 高清浄ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○110℃までの薬液を毎分41リットルで循環および移送ができる ○セラミック製シャトルバルブ、調節可能なマフラー、ねじ式ヘッド、 フレックスが発生しないＰＴＦＥダイアフラム等を採用 ○金属部品およびエラストマーＯリングは一切使用していない ○現場でのメンテナンスが可能 ○低価格・短納期 ○クリーンルーム（クラス1000）での組立て、テスト、梱包 ●その他機能や詳細は、カタログダウンロード下さい。
世界中から高い評価と称賛 高品質表面保護被膜剤
110度までの薬液を毎分36リットル排出できるダイアフラムポンプ 【特徴】 ○最高使用温度：100℃ ○最大吐出圧力：0.41MPa ○最大吐出量：36L ○2重のPFAダイアフラム ○接液部はPTFE/PFA ○メンテナンスコスト減少（メンテナンス期間の長期化を実現） ○長寿命ダイアフラム ○クリーンルームでの組立て、テスト、梱包 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。
高い照度において完全な均一性を保証するシールド
UL認証取得 SEMI S3適合 IMTEC社製 温度コントロールバス 【特徴】 ○UL認証取得 ○SEMI S3にも適合 ○高効率のインコネルヒータ搭載 ○低温出力で最適な熱伝導によりバス内温度分布を均一に保持 ○高精度な温度安定性を実現 ○ヒータ交換の必要がなく、MTBFも大幅に改善 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
UL認証・CEマーク取得済 SEMI・S2/S3適合 高純度石英インラインヒーター 【特徴】 ○インコネルヒーターを使用したインラインヒーター ○外装はテフロン(PTFE)を使用 ○高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要 ○耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2) ○コンパクトサイズ ○縦置き／横置き共に設置可能 ○3kw〜18kwと多彩なラインナップ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM（オプション）によるシール部の冷却機構により長寿命化、 30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ（ナイトライドエッチ）のもっとも有効で、信頼性と安定性に富んだ システム ●その他の機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
製造テクノロジー ステンレス製圧力スイッチ 【特徴】 ○高い再現性 ○高真空でも使用可能 ○電子ビーム溶接によるリークのない構造 ○取付姿勢により影響を受けない ○高圧使用も可能（オプション） ○高温モデルにも対応可能 ○金及び銀接点を使用 ○高い精度、再現性、寿命を達成する為、 “SNAP ACTION”ベルビルスプリング使用 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
HF/KOH/溶剤等の昇温に最適 SiCインラインヒーター 【特徴】 ○IMTEC社製 ○フッ酸・アルカリ液（KOH、TMAH）対応 ○SiCチューブを使用 ○ヒーターを直接貼ることにより、 最適な効率で高精度な温度制御を可能 ○接液部は、SiCおよびPFAのため従来のヒーターと比べ コンタミの発生を防ぐ ○ランプ交換・CDAは不要でメンテナンスフリー ○コンパクトサイズ ○縦置き・横置き設置が可能 ○省スペースを実現 ○循環・シングルパスプロセス共に対応可 ○4.5kw-18kwまで多彩なラインナップ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
米国ビーコマニュファクチャリング社製 空気圧＆水圧アスピレータ 【特徴】 ○テフロン（R)で成型 ○サイフォン現象を利用 ○危険性の高い薬液を効果的に扱えるよう設計 ○加圧空気を利用 ○薬液の再利用または循環 ○水圧アスピレータは0.7〜3.5Kg/cm2に加圧された純水、 または市水を利用してHFやH2SO4等の希釈、冷却、廃液が可能 ○空気圧、水圧ともに単体またはキットで提供可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
半導体産業で使用されている腐食性のある薬品や高清浄な薬品に最適な エア駆動ダイアフラムポンプ 【特徴】 ○180℃までの薬液を毎分50リットルで循環および移送ができる ○小型で大吐出量 ○PTFE/PFAダイアフラム ○金属部品およびエラストマーＯリングは一切使用していない ○エンスト防止シャトルバルブ ○コントローラ不要 ○2億サイクルの長寿命 ○現場でのメンテナンスが可能（検査も容易） ○低価格・短納期 ●その他機能や詳細は、カタログダウンロード下さい。
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