【特長】 ○最大100mmのロングレンジ走査 →圧電素子を用いた小型高精度のSPPAアクチュエータを駆動源として搭載し、15mm、35mmのストロークを標準で揃えています。最大100mmまで対応します。 →通常の観察やマッピング測定においては十分な移動速度10mm/secを確保し、ガイド機構に沿って広範囲な領域をスキャンすることができます。 ○20nmステップの高分解能 →リニアスケールを内蔵しクローズドループ制御によって、走査範囲全域において20nmの高分解能で再現性良く位置決めが可能です。 →顕微鏡やCCDカメラなどによる観察を目的とした試料走査にはセンサ無しのオープンループとして動作させることもできます。 ○RS232Cで制御が簡単 →制御インターフェースとしてRS232Cを備えており、PCと接続してすぐに動作可能です。 →移動コマンドで指定移動量を送るだけで目的の場所へ高精度に位置決めを実行します。 →ステータスやアラームを読み取ることでステージの状態をモニタすることができます。 ●その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。