【特長】 ○防塵・防滴対策 ○大発生力圧電素子 ○高剛性 【仕様】 ○PU1H80F-030U →ストローク：30nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：2200Hz →本体サイズ：90×80×35mm ○PU1H150F-060U →ストローク：60nm →分解能：2nm →繰り返し精度：±2nm →共振周波数：650Hz →本体サイズ：150×150×40mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

【特長】 ○防塵・防滴対策 ○大発生力圧電素子 ○高剛性 【仕様】 ○XY軸高速駆動　PU2H60F-012U →ストローク：12/12nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：3100Hz →本体サイズ：60×60×40mm ○XY軸精密位置決め　PU2L90F-030U →ストローク：30/30nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：890Hz →本体サイズ：90×90×37mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。