日立Astemo＆ナガノの製品・サービス一覧

油圧源には自動車パワーステアリング用のベーンポンプを採用！自動車・精密機器をはじめとした組立工程に広く採用されています。 アツギ油圧卓上プレス【スタンダード】 小型・軽量で加圧能力による機種選定が可能 電源（3相200V）の接続により、すぐ稼働ができ、加圧力は油圧調整バルブの簡単な操作で設定ができます。加工物の大きい部品はコラムとベース（ボルスタ）を分離した構造を生かし、オープンハイトの変更が可能です。 高速・キック式プレス キックシリンダー式で一工程の時間を短縮 サブシリンダーを設け、下降速度を高速・低速（実加圧）の二段送りを標準装備し、上昇速度も高速化した一工程の時間を短縮できるプレス機です。 プレスユニット 専用自動化ライン組込み用 シリンダーとポンプ・モーターを一体としたユニットで、専用機へ組込みが可能となる、お客様の設計工数を低減できるプレス機です。

• その他加工機械

静電式電気集塵装置SMOG-HOGは機器の構造から一般的なフィルター集塵機と比較して以下のメリットがあります。 小電力、大風量の実現 機内圧力損失が極端に少ないため、集塵機の消費電力の削減が可能。 目詰まりしない構造 構造から目詰まりによる風量の低下が発生しません。 高効率の集塵 ０,０１～１００ミクロンの粒子まで９９％除去します。 多様な集塵対策に対応 小風量から大風量まで、ダクト吸引対策から、空気清浄対策まで多様なニーズに対応。 保守メンテナンス作業の軽減 多様な機種も同一の集塵部セット（セルセット）で対応可能。また集塵部は洗浄可能で消耗品はありません。

• フライス盤
• 工業炉
• その他機械要素

Ｗフェルールチューブ継手に対応した計装システム用のリリーフバルブです。 特徴 ■低圧用Ｖ６３　２．０６ＭＰａ ■高圧用Ｖ６６　４１．３ＭＰａ ■クラッキング圧力調整可能型ＶＡ３３ ■チューブサイス：１／４と１／２ ■ＮＰＴねじ、Ｒねじも製作可能です。 ■材質：ＳＵＳ３１６ ＊ＰＤＦカタログは英文となります。

• バルブ
• 配管材
• 管継手

Ｗフェルールチューブ継手に対応した過酷条件下でご使用可能な 高温用ニードルバルブです。 特徴 ■３種類のステムから選択Ｇ・Ｒ・Ｂ（標準はＧ） ■チューブサイス：１／８～３／４インチ ■ＮＰＴねじも製作可能です。 ■材質：ＳＵＳ３１６ ■高温対応　 標準パッキン材質ＰＴＦＥ：－６５～４４９℃ オプションパッキン材質Grafoil：－６５～６４８℃ ＊ＰＤＦカタログは英文となります。

• バルブ
• 配管材
• 管継手

Ｗフェルールチューブ継手に対応した計装用のシャットオフや 流量調整に適したニードルバルブです。 特徴 ■３種類のステムから選択Ｖ・Ｒ・Ｋ（標準はＶ） ■チューブサイス：１／８～３／４インチ ■ＮＰＴねじも製作可能です。 ■材質：ＳＵＳ３１６ ■シート材質：標準ＰＴＦＥ　（オプションＰＥＥＫ） ＊ＰＤＦカタログは英文となります。

• バルブ
• 配管材
• 管継手

Ｗフェルーチューブ継手に対応した計装用のローコストボールバルブです。 特徴 ■ストレート２方向のみ ■チューブサイズ：１／４～３／４インチ ■材質：ＳＵＳ３１６ ■ＮＰＴねじも製作可能です。 ■低価格 ＊ＰＤＦカタログは英文となります。

• バルブ
• 配管材
• 管継手

Ｗフェルーチューブ継手に対応した計装用のボールバルブです。 特徴 ■ストレートタイプ、アングルタイプ ■２方向、３方向 ■パネルマウント可能 ■チューブサイズ：１／１６～３／４インチ ■ＮＰＴねじ、Ｒねじも製作可能です。 ■材質：ＳＵＳ３１６ ＊ＰＤＦカタログは英文となります。

• 配管材
• バルブ
• チューブ

この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。 この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

既存の主な制御方式および通信方式に合わせて使用するため、様々な出力形態に応じてアナログまたはデジタル制御を行います。本製品には、お客様のご要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能（コンバータ付RS-232通信機能）と複数用意されている診断およびアラーム機能を活用し、迅速に操作パラメータを入手できます。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

CVD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ（MFC）とデジタルマスフローメーター（MFM）は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。 新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価値や機能に合ったシングルガス対応ならびにマルチガス・マルチレンジ対応MFCを取り揃えています。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ（MFC）と素早く簡単に交換できます。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

特徴 ■ストレートユニオン・ユニオンエルボ・ユニオンティー 　おすコネクター・おすエルボ・めすコネクターなど多彩なラインナップ ■チューブ・パイプ外径サイズ：６～４２ｍｍ 　　　　　　　　　　　　　　　６Ａ～４０Ａ ■材質：ＳＵＳ３１６、真ちゅう ■各種国際機関の認証を取得しています。 　ＤＮＶ、ＧＬ、ＮＫなど ■他社製品からの切替が可能 ■安価 ＊ＰＤＦカタログは英文となります。

• 管継手
• チューブ
• 配管材

ナット、ボティ、フロントフェルール、バックフェールで構成される スウェージング方式のＷフェルールチューブ継手です。 特徴 ■ユニオン・バルクヘッドユニオン・ユニオンエルボー・ユニオンティー 　おすコネクター・おすエルボー・おすアダプターなど多彩なラインナップ ■チューブ外径サイズ：１／１６～２インチｍまで 　　　　　　　　　　　２ｍｍ～３８ｍｍまで ■材質；ＳＵＳ３１６ ■独自技術の窒化処理による高耐食ＣＲフェルールを標準採用 ■他社製品からの切替が可能 ■安価 　　　　　　　　　　　 ＊ＰＤＦカタログは英文となります。

• 管継手
• チューブ
• 配管材

・手軽、軽量、省スペースな小型雰囲気炉です。 ・雰囲気部には気密性の良い専用フランジを採用、精度よく雰囲気制御ができます。 ・温度コントローラーはプログラム機能付き採用、温度、時間を正確に制御できます。 ・サンプルの出し入れはフランジのカップリングを外すだけ、出し入れが簡単です。 ・コンパクトだから作業台やドラフトチャンバー内など、限られたスペースに設置できます。

• 電気炉
• 加熱装置
• 工業炉

制震、免震、鉄道車両用製品は日立オートモティブシステムズグループが自動車機器の開発で長年にわたり培った製造技術から生まれてきました。 これらの製品は医療や住宅、生活関連から産業機器、さらには鉄道・橋梁等様々な場面でお使い頂いております。私達はより安全で快適な生活空間を提供していきます。

• 油圧機器
• 駆動系部品