コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC
CVD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ（MFC）とデジタルマスフローメーター（MFM）は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。 新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価値や機能に合ったシングルガス対応ならびにマルチガス・マルチレンジ対応MFCを取り揃えています。
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基本情報
特長 ・マルチガス・マルチレンジ ・高速応答性 ・100％メタルシール・高純度設計 ・フィールドでプログラム可能 ＊ ・再校正をしなくても様々なガス選択が可能 ＊ ・DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ・多彩な警告・診断機能 ・RoHS適合 ＊ マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションなど
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企業情報
平素は格別のご高配を賜りありがとうございます。1964年にトキコ株式会社（現日立オートモティブシステムズ株式会社）と長野計器株式会社との共同出資によりトキコ圧力計株式会社として設立されて以来、1978年にトキコナガノ商事株式会社、2001年にトキコナガノ株式会社として、一般産業機器から鉄道車両、事務用品、家電、医療機器、インフラ関連産業等、幅広い分野にて、常に成長を続け、50周年を迎えられましたのもひとえに皆様のご支援の賜物でございます。そして2015年、日立オートモティブシステムズ株式会社、長野計器株式会社の製品を核としながらも、日立グループの一員として、安心・安全・快適な暮らしの創造をめざし、あらゆる産業、製品、サービスへ挑戦すべく、日立オートモティブシステムズ＆ナガノ株式会社として生まれ変わりました。今後は従来の核となる製品に加え、商社機能の拡大とエンジニアリング機能の充実による総合流通企業としてお客様から信頼される企業をめざし、ご満足を頂けるようなシステム提案に努めてまいりますので、なお一層の厳しいご指導と温かいご支援を賜りますようよろしくお願い申し上げます。