優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MFM
既存の主な制御方式および通信方式に合わせて使用するため、様々な出力形態に応じてアナログまたはデジタル制御を行います。本製品には、お客様のご要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能（コンバータ付RS-232通信機能）と複数用意されている診断およびアラーム機能を活用し、迅速に操作パラメータを入手できます。
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基本情報
特長 ・使用ガスおよび流量レンジの選択可能 ＊ ・アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択 ・ピエゾ制御バルブ ・各種のアラーム/診断機能 ・各種のアラーム/診断機能 ・1x10-10 の気密度を保つ金属シール ・電解研磨、UHP処理済み接ガス面 ＊ マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションなど
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企業情報
平素は格別のご高配を賜りありがとうございます。1964年にトキコ株式会社（現日立オートモティブシステムズ株式会社）と長野計器株式会社との共同出資によりトキコ圧力計株式会社として設立されて以来、1978年にトキコナガノ商事株式会社、2001年にトキコナガノ株式会社として、一般産業機器から鉄道車両、事務用品、家電、医療機器、インフラ関連産業等、幅広い分野にて、常に成長を続け、50周年を迎えられましたのもひとえに皆様のご支援の賜物でございます。そして2015年、日立オートモティブシステムズ株式会社、長野計器株式会社の製品を核としながらも、日立グループの一員として、安心・安全・快適な暮らしの創造をめざし、あらゆる産業、製品、サービスへ挑戦すべく、日立オートモティブシステムズ＆ナガノ株式会社として生まれ変わりました。今後は従来の核となる製品に加え、商社機能の拡大とエンジニアリング機能の充実による総合流通企業としてお客様から信頼される企業をめざし、ご満足を頂けるようなシステム提案に努めてまいりますので、なお一層の厳しいご指導と温かいご支援を賜りますようよろしくお願い申し上げます。