特殊ポリウレタン材料をベースに、均一な微小発泡を持つそのユニークな構造はスラリーの保持性を向上させ、さらにパッド表面溝加工を施すことにより、スラリーをウェーハ全面へ均一に行き渡らせ、高い研磨性能を実現します。 お客様のご要望により、ラインナップ、溝加工や下地パッドなどのオプションをご提案させて頂きます。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【特長】 ・高生産性 ・高安定した品質 ・高平坦性

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【ラインアップ】 ■Suba(TM)400 ■Suba(TM)600 ■Suba(TM)800 ■Suba(TM)840 ■Suba(TM)800M2 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• ウエハ加工/研磨装置
• 手研磨・ヤスリ

【製品ラインナップ】 ・H1001 ・H1012A お客様のご要望により、製品ラインナップや溝加工などのオプションをご提案させて頂きます。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【製品ラインナップ】 ・Nanopure(TM) NP6504：一次研磨用・高研磨レート ・Nanopure(TM) NP6610：一次研磨用・高研磨レート・アミンレスタイプ ・Nanopure(TM) NP7310：二次研磨用・高希釈対応・高純度 ・Nanopure(TM) NP8020H：セミファイナル用・高研磨レート ・Nanopure(TM) NP8030：ファイナル用 ・Nanopure(TM) EG1103：エッジ研磨用 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お問い合わせください

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【製品ラインナップ】 ・Machplaner(TM) MS2025：c面サファイア研磨用・高研磨レート ・Machplaner(TM) MS2100：a面サファイア研磨用・高研磨レート・低摩擦 ・Machplaner(TM) MS5000：厚膜Cu-CMP用、TSV用・高研磨レート ・Machplaner(TM) ST2000：ガラス研磨用・表面粗さ低減 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お問い合わせください

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