【その他特長】 ■デュアルパージシステム(定常パージと瞬間パージ)によって、残留しやすい昇華原料を効率的に配管内から排出 ■制御プログラムがユニットやオプションの装着状況を自動的に認識するので、拡張後もプログラムを変更する必要はなし ■パーテーション構造によって直管形反応室内の流れをコントロールし、パーテーション前後の滞在時間を調整することで確実な成膜を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

【原料ユニット】 ■低蒸気圧ユニット 　・ガスの輸送にキャリアガスを使用 ■中蒸気圧ユニット 　・シンプルなシングルバルブ構成 　・高速バルブを採用し最大10Hzで動作 ■高蒸気圧ユニット 　・バルブ間にメジャーリングボトルを設置 　・バルブの開閉回数により供給量を制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

○材質：フッ素樹脂（PTFE) ○セット方向：横置き ○セット数：5枚または10枚 ○持ち手長：150ｍｍ（標準）

• 樹脂器具・容器

○材質：フッ素樹脂（PTFE) ○セット方向：縦置き ○セット数：5枚または10枚 ○持ち手長：150ｍｍ（標準）

• ステンレス器具・容器

○テーブル材質：フッ素樹脂（PTFE) ○対応サイズ：20ｍｍ角基板／φ3インチ／φ4インチ／φ6インチ ○最大回転数：3500prm　※機種により異なります。 ○入力電源：AC100V（50/60Hz）

• 乾燥機器