大塚電子の製品・サービス一覧

光干渉法と自社製高精度分光光度計により、非接触・非破壊かつ高速高精度での膜厚測定を可能にしました。 光干渉法は、分光光度計を利用した光学系によって得られた反射率を用いて光学的膜厚を求める方法です。 図１のように金属基板上にコーティングされた膜を例にとると対象サンプル上方から入射した光は膜の表面で反射します（R1）。さらに膜を透過した光が基板（金属）や膜境界面で反射します（R2）。この時の光路差による位相のずれによっておこる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を演算する方法が光干渉法です。

• 分析機器・装置

半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。 独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 膜厚計

エクソソームは、生体メカニズムの理解、診断、DDSなどへの応用が期待されています。そのエクソソームを適切に分離し精製することは、特性の理解や臨床応用へ発展させる上で非常に重要です。精製されたエクソソームの粒子径・粒子数の確認は実験のファーストステップとなります。 ELSZneoでは、粒子径・粒子濃度・ゼータ電位を測定することができます。粒子径は動的光散乱法、粒子濃度には静的光散乱法、ゼータ電位は電気泳動光散乱法を用いて結果を得ることができます。エクソソーム表面の電荷（ゼータ電位）の違いは粒子挙動にも大きく影響するため、近年非常に注目されている指標の一つです。ELSZneoは、粒子径・粒子濃度・ゼータ電位を測定することで、エクソソームの性質を詳細に解析することが可能です。 エクソソーム測定の詳細については、カタログダウンロードより技術資料をダウンロードをしてください。

• 光散乱光度計
• 分析機器・装置

「ラインスキャン膜厚計(オフライン)」は、フィルムなどの研究開発や 品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な 装置です。 フィルムなどの面内膜厚ムラを検査することができ、全面を高速かつ高精度 に測定可能。 また、測定範囲は0.1～300μmで、測定幅は250mm。ハード・ソフト共に オリジナル設計となっております。 【特長】 ■フィルムなどの面内膜厚ムラを検査可能 ■全面を高速かつ高精度に測定可能 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■分光測定による高精度な膜厚測定 ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 膜厚計

『RETS-100nx』は、OLED用偏光板、積層位相差フィルム、IPS液晶位相差 フィルム付偏光板など、多種多様なフィルムに対応したリタデーション測定 装置です。 超高Re.60000nmに対応の高速・高精度測定を実現し、フィルムの積層状態を "剥がさず、非破壊"で測定することが可能。 さらに、操作面でもかんたんソフトウェアや、サンプルの置き直しによる ズレに対応した補正機能を搭載し、手軽に高精度な測定ができます。 【特長】 ■独自の分光器だからできる高精度測定 ■超複屈折フィルムを高速・高精度に測定できる ■剥がさず、非破壊でさまざまなフィルムの積層状態を測定できる ■サンプル設置がズレていても手軽に再現性良く測れる ■測定時間と処理時間が大幅短縮 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他 計測・測定機器

『PP-1000』は、小角光散乱法(SALS)を用いて、高分子やフィルムの構造を リアルタイムに、連続的に評価できる装置です。 光源に可視光を使用している為、小角X線散乱や、小角中性子散乱装置と比べ、 より大きな構造(マイクロメートルオーダー)の評価が可能。 また、偏光板を用いたHv散乱測定からは、光学異方性の評価や結晶構造の 解析ができ、Vv散乱測定からはポリマーブレンドの評価や、配向特性の解析が 行えます。 【特長】 ■散乱角度0.33～45°の測定を最短10msecで測定可能 ■サブミクロン～数百ミクロンの構造を評価 ■専用のセルで溶液サンプルも測定可能 ■Hv散乱、Vv散乱測定をソフト上で簡単に切り替え可能 ■卓上タイプで実験室に設置可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器
• その他検査機器・装置

『DLS-8000 series』は、動的光散乱法を用いた粒子径・粒子径分布 (粒径・粒径分布)測定と静的光散乱法を用いた絶対分子量・慣性半径・ 第二ビリアル係数の測定が可能。 また、液浸セル光学系を採用しているため、微弱散乱のナノオーダー粒子を 高精度に測定できます。 【特長】 ■He-Neレーザー、固体レーザー、ダブルレーザーの仕様が選択可能 ■液浸セル光学系を採用により、微弱散乱のナノオーダー粒子を高精度に測定可能 ■オプションのゲル回転セルと組み合わせてゲル状態の解析が可能 ■セル室を160℃まで温調可能な高温仕様タイプをラインナップ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器
• 分析機器・装置

『Qsep Ultra』は、プライマー設計から量産まで柔軟に対応できる 遺伝子解析装置です。 PCRとキャピラリー電気泳動が1台となり、2stepで遺伝子解析が可能。 お客様のご要望に合わせて開発を行うこともできます。 また、前処理は簡便で、6サンプル連続測定可能。小型、省スペースといった 特長も備わっております。 【特長】 ■PCRからキャピラリー電気泳動までシームレス ■前処理は簡便 ■6サンプル連続測定可能 ■小型、省スペース(W395×D300×H370mm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 分離装置
• その他 増幅・PCR

『SF-3』は、ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや 樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行う、分光干渉式ウェーハ膜厚計です。 光学式により非接触・非破壊での厚み測定ができ、高い測定再現性を実現し、 高速でリアルタイムに研磨モニタも可能です。 また、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器への組み込みが容易で 多層厚み測定も可能です。 【特長】 ■光学式により非接触・非破壊での厚み測定が可能 ■高い測定再現性を実現 ■高速でリアルタイムに研磨モニタが可能 ■長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器への組み込みが容易 ■ホスト機器からLANを使用したTCP/IP通信で制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 膜厚計

MCPD seriesは、紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル 分光検出器です。 最短5msで分光スペクトル測定ができ、標準装置のオプティカルファイバー により、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応。 また、顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの 組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。 【特長】 ■広いダイナミックレンジを有し、全光測定に好適 ■低迷光機能搭載により、UV評価に好適 ■最短5msecから65secまでの露光時間、微弱光測定、高速測定、 　インライン測定など、幅広い測定に好適 ■スクランブルファイバーの採用により、高再現性を実現 ■軽量・コンパクトな縦置きタイプ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 分光分析装置

「ラインスキャン膜厚計(インラインタイプ)」は、インラインでの フィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。 独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせる ことで、最短0.001秒毎の測定間隔で500mm幅(1台使用時)のフィルムの 膜厚測定が可能。 また、膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポートや、バタつきに 強い光学系を採用しているなどといった特長が備わっています。 【特長】 ■ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■高速・高精度に測定が可能 ■バタつきに強い光学系を採用 ■幅広のサンプル(TD方向に最大10m測定可能) ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 膜厚計

『SM-100 series』は、1.1kgと軽く、持ち運びも簡単な膜厚計です。　 膜厚を測定するときの「測りたい“その場”ですぐに測れない」「人によって バラつく測定結果」「測定精度が悪い」といったお困りごとを解決。 最薄0.1μmまで検量線不要で測定可能で、基材(ガラス・プラスチック)を 選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で測ることができます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 膜厚計

『ELSZneo』は、ELSZseriesの最上位機種で希薄溶液から濃厚溶液での粒子径・ゼータ電位測定に加え、 分子量測定を可能にした装置です。また、粒度分布の分離能を向上させるため多角度測定を採用し、 粒子濃度測定やマイクロレオロジー測定、ゲルの網目構造解析も可能にしました。 平板のゼータ電位測定が可能な平板セルユニットは、新開発した高塩濃度対応 コーティングにより、生理食塩水などの生体模擬環境下での測定が可能です。 【特長】 ■希薄から濃厚溶液(～40%)まで幅広い濃度範囲の粒子径・ゼータ電位測定が可能 ■標準フローセルで粒子径とゼータ電位を連続して測定が可能 ■多角度測定により、分離能の高い粒子径分布の測定が可能 ■平板状サンプルのゼータ電位を講演濃度環境下で測定が可能 ■静的光散乱法を用いて粒子濃度の測定が可能 ■動的光散乱法によりマイクロレオロジー測定が可能 ■ゲル試料を複数点測定することによりゲルの網目構造や不均一性の評価が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

『MINUK』は、目視では見えない透明フィルム表面を可視化・定量化できる 光波動場三次元顕微鏡です。　 nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得可能。ワンショットで 深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム 表面の傷や欠陥の断面形状や三次元形状を可視化し数値化することが可能です。 高速で広範囲をマッピングし情報を得ることができるスティッチング機能に より、観察したい場所を素早く見つけ、詳細情報を取得することが可能です。 【特長】 ■nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ■1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得 ■フォーカス不要で高速測定が可能 ■非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能 ■任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 光学顕微鏡

『nanoSAQLA(ナノサクラ)』は、光散乱を利用して粒子径を測定する "動的光散乱法"を採用した、粒子径測定（粒子径0.6nm～10μm）装置です。 オートサンプラーなしで、最大5検体の連続測定を実現。各検体の条件を 変えて測定することも可能です。 また、濃厚系から希薄系サンプルまで約1分の高速測定を実現しました。 各セルは独立しているため、コンタミの心配もありません。 【特長】 ■動的光散乱法を採用 ■最大5検体連続測定が可能 ■高速測定 ■コンパクトボディ(装置幅24cm) ■コンタミレス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他理化学機器
• その他検査機器・装置

キャピラリ電気泳動システム「Agilent 7100」は、 陽イオンや陰イオンなど異なる成分を一台の装置で分析が可能な製品です。 また、微量サンプルで短時間・高分解能な分析が可能です。 【特徴】 ・シンプルな前処理で短時間分析 ・1台で、陽イオン・陰イオン・有機酸、アミノ酸、タンパク質、糖の分析可能 　（金属イオンの価数による分離も可能） ・高価なカラムは使用せず、試薬量も少量なのでランニングコスト削減 ・バッファマニュアルなど豊富なアプリケーションによる優れた技術サポート ・微量サンプルで短時間・高分解能な分析が可能 ・バブルセルキャピラリにより分離能を損なわず3～5倍の高感度化を実現 ・対イオンや夾雑物の影響を受けにくく前処理がほとんど不要 ・高価なカラムや溶剤を使用しないため経済的で環境にも優しい ・Open LAB CDS ChemStation により、日本語対応 ※詳細はお問い合わせ、もしくはPDFをダウンロードしてください。

• 分離装置
• その他理化学機器

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します！ 【特長】 ■膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約 ■顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数） ■1ポイント1秒以内の高速測定 ■顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外） ■エリアセンサーによる安全機構 ■初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード ■測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載 ■複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法） ■300mmステージ対応可能 ■各種カスタマイズに対応　など

• 膜厚計