【仕様】 測定スピード：大型レンズ　最高10mm/秒、マイクロレンズ　最高0.02mm/秒 ポジショニングスピード：200mm/秒 垂直方向解像度：0.8nm 形状偏差：<100nm 測定力：0.5mN～30mN

自動車業界等で高精度形状測定機として広く使用されている MarForm MFU 200 の技術と経験を、光学分野に応用しました。 測定手順 測定を開始する前に形状を選択し、 基準レンズのパラメータを設定してください。 次のステップで測定データが記録され、 基準レンズのノミナル値と比較されます。 RMS、PV、および傾斜誤差がパラメータとして表示されます。 ソフトウェアでは、 ノミナル非球面レンズを適合非球面レンズにあわせて調整する際に、 非球面の個々のパラメータを測定結果に合わせて調整できます。 （曲率半径 R0、円錐定数 k、非球面係数 Aiなど） 測定値とノミナルレンズ間のトポグラフィーの差異は、 色分けされた折れ線グラフで表示されます。 2D プロファイルおよびトポグラフィの差分は、 工作機械補正用に各種フォーマットでエクスポートできます。 球面および非球面の測定に加えてその他の回転対称形状の測定物も、 ノミナル形状を円錐プロファイルまたは 3D散布図のサジタルデータとして使用することにより、 測定および評価することができます。

＜多彩なラインナップ＞ 卓上タイプ、カスタマイズ可能なタイプ、ポータブルタイプ※など、お客様のニーズに合わせて選定頂けます。 ※ポータブル型の特長 ◆大型・移動できない測定物を直接測定（カットサンプル不要） ◆セッティングの手間・時間を削減 ＜高速測定＞ 従来比約７倍の測定スピード！ コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）の採用により、 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。 ＜多用途＞ 粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。 測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用した製造ラインでの欠陥検出など 様々な用途に使用頂けます。 ＜接触式測定法と99％の相関性＞ アメリカ国立標準技術研究所（NIST）規格SRM2460による測定結果より、接触式と当機種の測定結果は99％という最も高い相関性を示しました。

『CP』は 6nm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応します。 『CL』は高速ラインセンサを搭載。0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で 100×100mmサイズを約1分という短時間で測定できます。 ■特長１　高速測定■ 従来の接触式の測定機では時間のかかる、形状測定やキズ検出。 『Marsurf CP/CL』は測定時間を大幅に短縮し、全数検査を可能にします。 ■特長２　高分解能■ Z方向分解能0.02μｍ、X方向分可能1μｍの高分解能を実現。 微小な傷の検出や極小部位の測定におすすめです。 ■特長３　大型／重い測定物にも対応■ 用途に合わせて選択可能な、ロングストロークのXY電動テーブルを採用。 さまざまな形状・大きさの測定物の測定が可能です。 ■特長４　全自動測定・解析■ 測定物のポジショニング・測定、レポートの作成を全自動で！ 測定者のスキルに依存しないスピーディーで正確な測定を実現します。

バイオニックデザインの LP D プローブアーム ・高い剛性・振動挙動の低減および慣性モーメントの低下により、プローブシステムのダイナミクスが向上： - 統合設計による最適化されたプローブシステム - 新素材を採用 ・チップ内蔵のプローブアーム： - プローブアームの検出と識別 - プローブアームが確実に取付けられているかを確認 - プローブアームからの情報を取得" MarSurf UD 130 Aspheric 2D の特長 ・MarSurf UD 130 Aspheric 2D0 は、測定物を高精度に正確に測定 垂直方向の解像度 2 nm、形状偏差< 300 nm の精度で、非球面レンズの正確な複製が可能 ・プローブアーム交換時の再校正が不要 ・急勾配なレンズも測定可能