日之出水道機器(ヒノデホールディングス)の製品ラインアップ

ナノメートル単位の精度が求められる半導体製造装置において、設計者を悩ませるのが構造体の「剛性不足」です。 構造体の剛性が足りないと、稼働時の重心移動等により装置全体の揺れが発生し、装置のタクトタイム悪化や歩留まり低下に直結します。 本質的な原因は、断面設計や材質、支持方法の不整合にあります。単に部材を厚くするだけでは重量増による慣性の影響を受け、逆効果になることも少なくありません。 解決策として有効なのが、ヒノデの解析技術とトポロジー最適化です。 ■ヒノデの剛性最適化ご提案ステップ 　1)現状分析：構造案の剛性解析により、ウィークポイントを究明 　2)条件設定：負荷荷重条件・拘束条件・空間制約条件・質量/変位の目標値を設定 　3)トポロジー解析：条件設定に応じた最大剛性の構造を計算 　4)鋳造解析：量産性を考慮したリモデリング 　5)確認解析：最適化構造の性能をシミュレーション 　6)試作検証：実機評価による性能評価 ヒノデグループは、構造設計と材料特性の組み合わせで貴社の装置パフォーマンスを最大化いたします。 開発段階からぜひご相談ください。