日之出水道機器(ヒノデホールディングス)の製品ラインアップ

■装置架台（ベース）にグラナイトを使う理由と課題 半導体製造装置の架台（ベース）には、高い寸法安定性と優れた減衰性が求められるため、グラナイトが多く採用されています。しかし、複雑形状になると、グラナイトの加工費が高額になることや、製造リードタイムの長期化が大きな課題となっています。 ■解決策：ミネラルキャスティングと高精度転写技術 材料特性　：鋳鉄の約10倍の減衰性や低熱伝導性など、グラナイトに近い材質特性を持つポリマーコンクリート。 製法の特長：注型製法で複雑な形状を一体成形でき、高精度転写技術で平面度3～7μmの超高精度平面を加工レスで製作。 中大ロットが見込まれる複雑形状の装置架台等にミネラルキャスティングを適用することで、グラナイトの加工品に比べ大幅なコストダウンや製造リードタイム短縮が図れます。 ヒノデグループは材料開発から、加工・物流までワンストップで、お客様に最適なソリューションをご提案します。

ボンディングや検査工程で、高速移動後の「微振動」が収まらずタクトタイムが延びていませんか？位置決め精度の不安定化は、単なる剛性不足だけでなく、材料自体の「減衰性」の低さが本質的な原因です。 ■振動が残る3つの要因 ・材質：鋼材は剛性が高い一方、振動エネルギーを吸収する力が弱く揺れが残る。 ・構造：構造上に剛性と質量のアンバランスがあると揺れやすい。 ■解決策：ミネラルキャスティング 樹脂と骨材を固めたポリマーコンクリートで、鋳鉄（FC250）の約10倍という圧倒的な振動減衰性を持ちます。 受振部材に採用することで、装置全体の減衰性を向上させることができます。振動が一定の振幅に収まる「整定時間」を約60%短縮可能です。 ■見直しの判断軸 1.高減衰：揺れを即座に止めたい部位にはミネラルキャスティング。 2.高剛性：スペース制約があり、剛性も維持したい場合は鋳鉄とのハイブリッド構造。 ヒノデグループは材料開発から構造解析まで一貫して支援します。現状構造の剛性・振動解析から最適な構造を提案いたします。

高精度化が加速する半導体製造装置では、装置自身から発せられる振動や床からの振動をいかに対策するかが歩留まりを左右します。振動が収まらない課題に対し、材料特性を有効活用しませんか？ ■用途別のおすすめ材料 ベース・架台：鋼材の100倍近い減衰性を持つ「ミネラルキャスティング」 コラム・スタンド：省スペースで剛性と減衰性を両立する「ミネラルキャスティング×鋳鉄ハイブリッド構造」 高速可動部：鋳鉄同等の剛性でありながら軽量な高剛性アルミ合金「ATHIUM（アシウム）/ALSTIF（アルスティフ）」 ヘッド：片状黒鉛鋳鉄(FC250)の2.5倍の減衰性を持つ「高減鋳鉄」 ヒノデグループは新材料やトポロジー最適化を駆使し、高機能・低コストな装置部品をご提案。 装置パフォーマンスを最大化する鋳物ソリューションを開発から量産までワンストップで対応いたします。

高スループット化のニーズが拡大する半導体製造装置で、「振動が収まらずタクトタイムが伸びる」と悩んでいませんか？ 微細化が進む現場では、部材自体の振動吸収力が歩留まりを左右します。 ■振動が収まらない本質的な原因 鋼材は剛性が高いものの、エネルギーを吸収する「減衰性」が低いため、一度発生した振動が長く残ります。 ■解決策：ミネラルキャスティング 樹脂と骨材(砕石)を固めたポリマーコンクリートの一種です。 鋼材（SS400等）の約100倍、鋳鉄（FC250）の約10倍という圧倒的な振動減衰性を持ち、揺れを瞬時に抑制します。 ■導入メリット 装置のベース(架台)にミネラルキャスティングを採用することで、装置精度やスループットが向上します。 空間制約が厳しいコラム等では、高剛性な鋳鉄と高減衰なミネラルキャスティングのハイブリッド構造を採用することで、整定時間を従来構造から約60%短縮することに成功した事例もございます。 装置のポテンシャルを引き出すには、材料選定からの見直しが不可欠です。 ヒノデグループが、最適な減衰ソリューションをご提案します。

装置開発で、振動・剛性による精度不足や溶接組立構造(製缶)のコスト・リードタイムに悩んでいませんか？ その課題、鋳物が解決します！ ■適用箇所別の鋳物化メリット ・架台/ベース：鋳鉄やミネラルキャスティングの材料特性（振動減衰性・自由成形性）により高剛性化・高減衰化でき、装置精度・生産性を向上できる。また、一体成形により、製缶に比べて製造リードタイムを短縮できる。 ・可動部(アーム/コラム/ビーム/ヘッド等)：複数部品の一体化・構造最適化・軽量高剛性材料の適用によって、剛性を維持しつつ限界まで軽量化でき、装置の省エネ化・高速化が可能。 ・チャンバー：鋳物のニアネットシェイプ(最終製品形状に近い素材形状)により、ブロック材から総切削するよりも低コスト化。 ヒノデグループは材料・構造設計から試作・量産まで、客様の装置性能向上や安定調達をサポートいたします。 装置を「材料」から見直してみませんか？ 【詳細は、下記よりカタログをダウンロードしてご確認ください】

後工程のボンダやテスタ等で、高速動作時に部材の振動が収まらず位置決め精度が低下していませんか？ 装置の大型化・微細化が進む中、ベースやコラムの材料選定は装置性能を左右する重要な判断です。 ■FC250（片状黒鉛）とFCD450（球状黒鉛）の決定的な違い 振動減衰性：FC250はFCD450の約3倍という優れた吸収力を持ち、振動を早期に収束させます。 剛性・強度：FCD450はヤング率が約165GPaと高く、FC250（約90GPa）に比べ変形しにくい強さがあります。 コスト：FC250は製造時の歩留性や加工後のひずみの少なさがFCD450よりも優れ、低コストで安定生産しやすいです。 用途：装置のベース等にはFC、強度と剛性が求められるアーム等にはFCDが適しています。 ■選定の指針 1.精度優先なら：振動収束に優れるFCを選び、整定時間を短縮。 2.負荷・変形対策なら：高強度なFCDで部材の薄肉・軽量化を追求。 ヒノデグループでは、「高減衰鋳鉄」や「ミネラルキャスティング」など、設計課題に合わせた最適な材料提案が可能です。 【詳細は、下記よりカタログをダウンロード】

『ミネラルキャスティング』は、骨材を樹脂で固めたポリマーコンクリートで、 高減衰性、低熱伝導性、電気絶縁性などの特長を備えています。 機械に採用することで、高レベルの減衰性を実現できるほか、 鋳物製の枠にミネラルキャスティングを充填するハイブリッド構造によって、 鋳鉄と同等の高剛性も両立することができます。 【特長】 ■鋳鉄(FC300)と比較し約10倍の減衰性能、約1/30の熱伝導率、高い電気絶縁性 ■インサートナット、アース配線、クーラントパイプ等を組み込むことで製造工程を大幅削減（トータルコストダウン） ■溶解工程がなく、CO2排出量を大きく削減可能 ■高精度転写技術（0.003～0.007mm/1000mm）で、加工レスによるコスト低減 ■純国産で安定供給（生産能力2000t／年の製造ラインが4月より本格稼働） ■最大サイズ3,900×3,100mm、高さ4,000mm、15tまで対応 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

『ミネラルキャスティング』は、樹脂と骨材を固めたポリマーコンクリートの一種で、 粒径の異なる鉱石を骨材とし、エポキシ樹脂で結合させた高機能複合材料です。 高精度・高速動作が求められる産業機械用途を中心に欧州などで利用されています。 日之出水道機器はこのたび、独・RAMPF Groupと事業提携を行い、 ミネラルキャスティング製品の開発・製造・販売を開始。 より良い製品をお客様に安全・迅速にお届けできる体制を構築してまいります。 【特長】 ■高い振動減衰性 ■ガラス並みの低い熱伝導率 ■配管、センサー等の組み込み注型が可能 ■高精度の転写性をもち、加工レスを実現 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

複合材料『ミネラルキャスティング』は、原材料調達から加工まで完全に 国内生産のため、供給安定性に優れており石材の調達リスクの解決に 貢献する石材代替材料です。 機能部品の組込成形や高精度転写による精密加工で加工工程を大幅に簡略化でき、 必要な精度を確保しながらリードタイムの短縮を実現します。 天然石材に近い寸法安定性を再現した人工石材であり、高精度加工機や 測定機に適用可能です。 ■日本国内での原料調達・製造が可能で、外的要因に左右されにくく、 　安定供給が実現 ■注型時にインサートナットなどの部品を一体成形できるため後加工が不要 　高精度転写が可能で従来の石材では必要だった研磨工程を削減でき 　製造時間を短縮 ■熱伝導率が低く振動減衰性が高いため、高精度が要求される加工機や 　測定機に適用可能 　半導体製造装置や工作機械等の高精度化、高速化に寄与 ■更に剛性が必要な場合は鋳鉄とミネラルキャスティングの 　ハイブリッド構造の提案も可能 　寸法制約や取り合いが厳しい部品に有効 　 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

本材料は、当社が長年培ってきたポリマーコンクリートの材料開発技術および製造技術を応用・発展させ、 ミネラルキャスティングのハイグレード版として開発された新素材です。 ※ミネラルキャスティングの詳細については、カタログを参照ください。 ・本材料の特徴 1.ミネラルキャスティングと比較して2～3倍程度の剛性を有する材料です。 2.低熱膨張性に優れた材料であり、ミネラルキャスティングと比較して約65％の線膨張係数を実現しています。 3.ミネラルキャスティングと同様に常温で型に注型して成形する材料であるため、削り出し加工品と比較すると高い成形性を備えています。 【ヒノグラナイトの材料特性】 1.静弾性係数：97GPa 2.線膨張係数：7.3×10-6/K(室温環境下：10～30℃での平均値) 3.密度：3.2g/cm3