ナノテムの製品ラインアップ

『エアロフィックス』は、独自のセラミックス焼結技術により、従来の スルーホールタイプ真空チャックの課題を解決する、真空チャックです。 ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。ワークごとに形式や サイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率向上を実現します。 静電気を帯電・放電せず除電するため「イオナイザー」などの追加設備も 不要で、精密製品ワークにも安心です。 【特長】 ■静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決 ■部分吸着可能な為さまざまなワークサイズがこれ1台で対応できる ■ワークの汚染リスクを低減し非接触浮上搬送を実現 ■高性能・高精度な均一吸着力で、デリケートな薄物ワークに適する ■省スペースを実現するサクションロール ■既存装置に“ポン”と置くだけなので簡便＆コストダウン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『エアロフィックス』は、多孔質セラミックスでできた真空チャックです。 主剤と助剤の共晶反応コントロールによるナノテム独自のセラミックス 焼結技術により2μmの気孔を均一に生成、気孔率40%、軽さと強度の両立を 実現しました。 吸着面の一部しかカバーしない精細部品などのワークにおいてもしっかり 固定できる“部分吸着”が可能。 ワークによってチャックを交換する必要はありません。 【特長】 ■多孔質セラミックスでできた真空チャック ■2μmの気孔を均一に生成 ■気孔率40% ■軽さと強度の両立を実現 ■ドライ環境はもちろんウェット環境、150℃までの高温環境でも使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

A社様は、レーザーアニールでワークに光をあてるためピント合わせが 難しく、ワークを浮かせたままレーザーをあてたいが、 従来チャックではしっかり固定できず困っていました。 そこで『エアロフィックス』を導入。 精密、安定した浮上が可能になりピント合わせがラクになりました。 また、細かい気孔による部分吸着が威力を発揮し、作業効率が大きく 向上しました。 【事例概要】 ■導入先：A社様 ■用途：浮上 ■活用：中小型ディスプレイのエキシマレーザーアニール装置の浮上台として ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

B社様は、研磨の際にサファイア基板をワックスで固定していますが、 貼る、剥がす、洗浄するといった一連の作業に手間と時間がかかって 困っていました。 そこで『エアロフィックス』を導入。 ワックスを使用することなく安定した固定を実現し、ワックス作業関連作業の 削減により作業効率を大幅に向上、コストも削減できました。 【事例概要】 ■導入先：B社様 ■用途：研磨 ■活用：LCD、LED向け人工サファイア研磨の固定台として ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

C社様は、従来の真空チャック製品では吸着面のエアー抜きの穴にフィルム 素材が引き込まれ、たわみが生じるため品質上の問題となっていました。 そこで『エアロフィックス』を導入。 “たわみのない部分吸着”“大面積対応可能”“発塵がない”“静電気が発生しない” “コストパフォーマンスが高い”すべての項目で高評価でした。 【事例概要】 ■導入先：C社様 ■用途：吸着 ■活用：ディスプレイ（OLED）のフィルム固定台として ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

D社様は、研磨装置の開発、販売を行なっていましたが、研磨時のワーク固定に ついて課題となっており、新技術を活用した製品開発の必要を感じていました。 そこで、当社の実際の設備・技術を見学。 技術力と独自性に好印象を持ち、想像以上でした。 また、多孔質アルミナと研磨で培った技術による、今は主流でない技術で 将来性を感じていただきました。 【事例概要】 ■導入先：D社様 ■用途：吸着・研磨 ■活用：真空チャック、研磨全般として ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社は、サンプルチャックをご用意しております。 貸出し期間は1週間。 原則1週間としていますが、理由を御説明頂ければ延長は可能です。 貸出しの費用については、お客様から頂く評価内容・結果と相殺する形で 無料としています。 【特長】 ■貸出し期間は1週間 ■御貸し出しの際は下記2点を同梱 ・テストサンプルを使用される際の注意事項 ・貸出サンプル評価記入票 ■ラインアップ：□100チャック、□220チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『エアロフィックス』は、多孔質セラミックスでできた 真空チャックです。 主剤と助剤の共晶反応コントロールによるナノテム独自の セラミックス焼結技術により、2μmの気孔を均一に生成。 気孔率40％、軽さと強度の両立を実現しました。 ドライ環境はもちろんウェット環境、150℃までの高温環境 でも使用できます。ご用命の際はお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■静電気防止材料として極薄基板などワークの防汚課題を解決 ■高性能・高精度な均一吸着力 ■部分吸着可能 ■省スペースを実現するサクションロール ■ワークの汚染リスクを低減する非接触浮上搬送を実現 ■既存装置にポンと置くだけで簡便＆コストダウン ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。