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• その他顕微鏡・マイクロスコープ

【仕様】 ■モーター駆動XYステージ 　・最大移動範囲：150 mm × 150 mm 　・繰り返し誤差：2 µm ■モーター駆動Zステージ 　・Z移動距離：25 mm 　・分解能：0.1 µm 　・繰り返し誤差：＜1 µm ■XYスキャナ範囲：100 µm × 100 µm ■XYスキャナ分解能：0.095 nm (20ビット位置制御） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 電子顕微鏡
• その他顕微鏡・マイクロスコープ

【仕様】 ■システム仕様：電動XYステージ 　・200 mm：駆動 275 mm × 200 mm、分解能0.5 µm 　・300 mm：駆動 375 mm × 300 mm、分解能0.5 µm ■XYスキャナ レンジ：シングルモジュールフレクチャー式クローズドループXYスキャナ 　・100 µm × 100 µm (ラージモード) 　・50 µm x 50 µm (ミデアムモード)　 　・10 µm × 10 µm (スモールモード) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• 電子顕微鏡

【システム仕様】 ■電動XYステージ 　・200mm：駆動 275mmx200mm、分解能 0.5μm 　・300mm：駆動 375mmx300mm、分解能 0.5μm ■電動Zステージ 　・Z駆動距離：30mm 　・分解能：0.08μm、再現性 < 1μm ■電動フォーカスステージ 　・Z駆動距離：11mm、直上光学系 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

【仕様（スキャナー）】 ■XYスキャナー：100μm×100μm ■Zスキャナー：25μm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

【仕様（スキャナー）】 ■XYスキャナー：50μm×50μm(100μmx100μmオプション) ■Zスキャナー：15μm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

【仕様（スキャナー）】 ■XYスキャナー 　・クローズドループ制御単一XYスキャナー 　・スキャン範囲：100μm×100μm、50μm×50μm(オプション)、25μm×25μm(オプション) 　・20ビット位置制御と24ビット位置センサ ■Zスキャナー 　・フレクチャー式クローズドループスキャナー 　・スキャン範囲：15μm(オプション30μm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

【主な機能】 ■形状測定(ノンコンタクト/コンタクト/タッピング) ■電気特性(C-AFM/KPFM/EFMなど) ■機械特性(PinPoint/LFM/FMMなど) ■誘導特性/圧電特性(PFMなど) ■磁気特性(MFM) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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