※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

【掲載内容】 ■流量計/フローテスタ ■エアリークテスタ ■水素リークディテクタ ■ヘリウムリークテストシステム ■小型電子部品専用 気密検査装置 ■ウルトラファインリークテストシステム ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

圧力レンジ：-90 kPa ～ 990 kPa 電源電圧：24 VDC±10% 消費電力：約 80 W 外形寸法：W162 × D284 × H256 mm *突起部含まず 質量：約 7.1 kg

圧力レンジ：-90 kPa 〜 5.0 MPa 電源電圧：24 VDC±10% 消費電力：約 80 W 外形寸法：W162 × D284 × H256 mm *突起部含まず 質量：約 6.7 kg

チャンネル数：100 ch の多品種対応 　 使用圧力範囲：1 ～ 500 kPa abs （正圧仕様と連成圧仕様有り） 最小可検能力：1×10⁻⁶Pa・m³/s（条件により検出可否有り） 外形寸法：W 290 × D 420 × H 300 mm 重量：約 20 kg 仕様詳細についてはお問い合わせください。

[ 仕様 ] 外形寸法：W 1,425 × D 1,100 × H 1,800 mm（突起部含まず） 質量：約 2,000 kg 精度（グロスリークテスト）：1×10⁻⁶Pa・m³/s（等価標準リーク, 条件による） 精度（ファインリークテスト）：1×10⁻⁹Pa・m³/s（He）～ 1×10⁻⁶Pa・m³/s（He） ※ 精度は参考値です。製品環境により精度が低下する場合があります 搬送：パレット（又はトレー） to パレット タクトタイム：1.5 s / 1 個（８ステーション） ※ 詳細はお問い合わせください

【仕様】 ■測定方式：差圧式エアリークテスタ ■測定圧力範囲：- 90 kPa ～ 990 kPa（選択仕様による） ■グループ設定：32 種対応可 ■電源電圧/消費電力：AC 100 ～ 240 V / 約 100 VA ■寸法/質量：W 162 × D 344 × H 256 mm / 約12 kg ※ 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

テスト圧力範囲：1 ～ 200 kPa abs 外形寸法：W 470 × D 720 × H 416 mm 重量：50 kg グループ数：100 ch その他詳細についてはお問い合わせください。

【その他特長】 ■USB端子搭載でデータの入出力が容易　 ■USBメモリにて検査結果を保管・管理可能 ■32種類の測定条件を設定可能 ■大型カラーディスプレイ採用 ■表示画面で測定中の工程表示・波形表示・データ解析が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【 仕様 】 ■検出方式：スニッファ法 ■検出感度：最小検知リーク量 1×10⁻⁶Pa・m³/s 領域相当（時間率測定の下限値） ■測定範囲：0.5 ～ 5000 ppm （表示範囲は 0.1 ppm～） ■表示単位：ppm、Pa・m³/s、mL/ｓ、mL/min、g/year 他 ■電源：充電池 26650型（100%充電時連続使用時間 約８時間） ■寸法 ・本体：151 × 156 × 48.5 mm ・プローブ長：200 or 400 mm の２種より選択 ■質量：約 400 g（バッテリー含む） ※ 詳しくはお気軽にお問合わせ下さい。

検知原理：半導体式 検出感度：1×10⁻⁶ Pa･m³/s 相当（検査条件、測定環境による） 使用法：装置組込み型（装置搭載式専用） 分解能：0.1 ppm 電源電圧：DC 24 V 外観寸法：W 93 × D 91 × H 97 mm ※ 詳しくはお気軽にお問合わせ下さい。

測定方式：ワーク・ワーク比較、ワーク・マスタ比較、固定マスタ比較 測定圧力範囲：10 kPa・20 kPa・50 kPa（仕様選択による） ゲージ圧センサ精度：±2 % F.S. 差圧センサ精度：±0.5 % F.S. グループ設定：0 ～ 31 グループ 電源電圧／消費電力：AC100 ～ 240 V / 100 VA ※詳細はお問い合わせください。

【その他特長】 ■設定の書き換えが可能で新ワークに対応するとき等、設定変更が簡単 ■測定結果や圧力値の出力、設定値の入出力が可能 ■RS-232C、USBで通信ができるのでテスタをパソコンやシーケンサに接続しデータ出力可能 ■データをFL-296、FL-610、FL-611そしてFLZ-0210のデータ形式で出力することが可能なので、既存のリークテスタと同様のデータ管理ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他特長】 ■ USBメモリにて検査結果を保管・管理可能 ■ 32種類の測定条件を設定可能 ■ 5.6インチカラーディスプレイ採用 ■ 表示画面で測定中の工程表示・波形表示・データ解析が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【多様な便利機能】 ■自己診断：バルブ動作不良・センサ断線等を確認 ■容積測定：手動校正器装着で容積測定が可能 ■電空レギュレータ装着で圧力制御・圧力調整が自動 ■本体前面に校正ポートを設け、点検・校正が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■電源電圧 LPU-300：表示部筐体による LPU-100：AC100V LPU-024：DC24V ■空圧回路 LPU-300、LPU-100/024 の Cタイプ：空気作動弁仕様 LPU-100/024 の Aタイプ：電磁弁仕様 ■圧力範囲 -90 kPa ～ 990 kPaまで各圧力範囲をラインアップ ■接続可能機種 LPU-300：FL-610、FLZ-0220筐体 LPU-100/024：MI-170、MIZ-0175、DG-960 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ■計測媒体：空気、又は、窒素 ■測定方式：熱線式流量センサ ■外部入出力：REMOTE 50P、RS-232C他 ■電源電圧：単相AC 100 ～ 240 V 50/60 Hz ■消費電力：100 VA以下 ■外観寸法・質量：W 162 × D344 × H256 mm・約 8.3 kg ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■MSZ-0700シリーズ（小型製品用　A6サイズ） ■MSZ-0900シリーズ（中型製品用　A5サイズ） ■MSZ-0800シリーズ（大型製品用　A4サイズ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい

【その他の特長】 ■スケーリング設定は入力値に対する表示値の割合を 1/1000 ～ 9999 倍までの範囲で任意に設定可能 ■デジタルフィルタは測定部の圧力に微振動を生じているものには、フィルタをかけることにより、常に安定した表示・判定を行うことが可能 ■入力値及び換算表示値が定格F.S.（フルスケール）の範囲を超えた場合、表示が点滅するのと同時のOVER信号が出力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

流量レンジ：2 NmL/min ～ 500 NL/min 圧力範囲：-70 ～ 300 kPa 直線性精度 ±1.0 % of F.S.（大気開放において） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■流量媒体：空気 ■流量測定方式：層流変換・電圧変換式 ■電源：DC±15 V、0.05A 以内 ■使用温度：0 ～ 40 ℃ ■精度：±1.5 % of F.S.（大気圧下）、±2.0 % of F.S.（圧力下） ■使用圧力範囲：大気圧（大気圧下） -20 ～ +100 kPa （圧力下）　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ■測定方式：ワーク・固定マスタ比較　差圧式エアリークテスタ ■圧力レンジ：100 kPa～700 kPa ■電源電圧：AC 90～110 V、AC 200〜240 V　50/60 Hz ■消費電力：100 VA ■寸法（mm）：W162 × H256 × D345（突起部含まず） ■質量：約 12 kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ（抜粋）】 ■APU-508W ■APU-514W ■APU-520W ■APU-70W ■APU-90W ■APU-120W ■APU-130W ■APU-220P ■APU-300V ■APU-300P ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■装置・部品と組み合わせ自動化省力化に対応した計測をサポートする機能を搭載 ■上下限設定器：上限・下限の設定が可能 ■ホールド機能：現在の測定値をホールド ■オートゼロ機能：現在の表示値をオフセット値として、以降その値を基準に表示 ■接点出力：LO,GO,HI 各出力に対し NO,NC 各１点（計６種） ■定格負荷：AC125 V 0.1 A DC30 V 0.5 A ■BCD出力：オープンコレクタ出力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【製品仕様】 ■測定チャンネル：１チャンネル (A ch) または２チャンネル (A&B ch) ■外部制御入力方式：無電圧接点入力 ■外部出力方式：オープンコレクタ出力 (NPN/PNP型式選択) 最大印加電源電圧 30 V 、最大不可電流 50 mA ■電源電圧： DC：24～48 V ±10 ％ オプションアダプタ有 ■消費電力：最大 6 Ｗ (24 V) ■表示部： 2.4 型 TFT液晶ディスプレイ・数値表示・簡易波形表示 ■各種機能：オートゼロ、各種ホールド、画面切り替え、トレンドログ、グループ切替 ■グループ設定：16 グループ（手動または外部接点信号による） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の機能】 ■ ヒステリシス判定 ■ レンジ判定 ■ GO判定論理選択 ■ 設定値スライド ■ シフトコンパレーター ■ オートセッティング ■ エラー表示 ■ ゼロアジャスト ■ 設定プロテクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【測定方式】 ＜真空チャンバ法＞ ■ワーク内、チャンバ内真空引き（ワーク大漏れ確認） ■チャンバ内バックグランド確認 ■ワーク内ヘリウムガス加圧 ■検出（真空状態） ＜大気圧チャンバ法＞ ■ワーク内真空引き（ワーク大漏れ確認） ■ワーク内ヘリウムガス加圧 ■チャンバ内ヘリウムガス堆積 ■検出（チャンバ内吸引） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【標準装備】 ■HEPAフィルタ ■ドライ真空ポンプ ■エアドライヤ ■レギュレータ ■シグナルタワー ■フィルタレギュレータユニット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

測定方式：タンク加圧式、タンク分圧式 密封チャンバー法（圧力変化漏れ試験法1） テスト圧範囲：1 ～ 200 kPa abs　連成圧仕様 品種設定：1 ～ 100 グループ（100 種類） 電源電圧・消費電力：AC 200 V ±10 % 三相 50/60 Hz 4kVA 処理能力：60 個／分～（条件等による） 検出精度（参考値）：Φ20 μm相当 CSV：カテゴリー3に対応 対象ワークサイズ：W120 × D54 × H45 mm 寸法：W2,400 × D1,000 × H2,100 mm 質量：1,500 kg （備考） ・装置仕様は、お打ち合わせにて決定いたします。 ・包装の種類や形状により、ワーク搬入部と中子（チャンバ）が都度設計となるため、受注生産となります。

処理能力：最大100個 / 分（処理能力変更については要相談）、 検査精度：最小可検孔径 φ 5 μm ～（検査対象物や検査条件により変動有り） 試験方法：密封チャンバー法（圧力変化洩れ試験法１、JP18無菌医薬品包装漏れ試験法） 外観寸法：W 1500 × D 1650 × H 2100 mm

【その他ラインアップ】 ＜少量検査用＞ ■ウルトラファインリークテストシステム ・MUH-0100 ■ボンビング・グロス・ファインリークテストシステム ・MSX-0101 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【測定の手順】 ■ヘリウムガスの充填 １．ボンビングチャンバにワークを挿入 ２．ボンビングスタートボタンにてボンビング開始 ３．ボンビングが終わったら、ワークを取り出す ■測定 ４．ワークをカプセルに挿入 ５．測定スタートボタンにて測定開始 ６．測定が終わったらワークを取り出す ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【カプセルサイズ】 ■ φ16 × L10 mm（角10×10） ■ φ30 × L20 mm（角20×20） ■ φ44 × L31 mm（角30×30） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

・GMP/バリデーション(IQ,OQ)対応 ・データインテグリティ（DI）対応（これにより保護されたデータは、PC またはプリンタに出力されます） ・USP<1207>、JIS Z 2332:2012、JP18 参考情報（案）に準拠 ・プリンタ出力可能（オプション）

【 現在ご使用中の製品 】 FL-2600 series FL-273/283/284/293/294/286/296 FLZ-0210 FL-600/601 FL-610/611 ↓↓↓ 置き換え ↓↓↓ 【 新たにご使用になる製品 】 FL-610/611 FLZ-0220 FLA-0200/0201 ●接点仕様：ＮＰＮ 入出力 / ＰＮＰ 入出力 ●ケーブルの長さ：1.0 m ●電源：付加しない（付加をご希望の場合は、要ご相談となります）

【 圧力レンジ 】 微正圧：0.1 ～ 1.0 kPa / 1.0 ～ 10.0 kPa 正　圧：10.0 ～ 50.0 kPa / 10.0 ～ 80.0 kPa 微負圧：-0.1 ～ -1.0 kPa / -1.0 ～ -10.0 kPa 負　圧：-10.0 ～ 50.0 kPa / -10.0 ～ -80.0 kPa サイズ：Φ 100 × H 148 mm（突起部・ノズル含まず）

【ラインアップ】 ■FFM-100シリーズ ■FFM-400シリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

[FPH-0100] ・材質：SUS 304 ・孔の形状：ストレート ・孔径D(μm)：Φ5, 10, 15, 20, 50, 100, その他 ※ このほかのサイズにつきましては、お問い合わせください。 [FPH-0101] ・材質：Ni ・孔の形状：すり鉢 ・孔径D(μm)：Φ5, 10, 20