■基本仕様 ・切断可能最大ワークサイズ：φ100mm （75mm角） ・切断可能最大ワーク高さ：9ｍｍ ・装置寸法（WxDxH）：650x905x1,350mm ・装置重量：380kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■基本仕様 ・最大ワークサイズ：Φ200mm ・最大フレーム：6,8インチリング ・X軸 切断可能範囲：220mm、最大切断速度：500mm/s ・Y軸 切削可能範囲：220mm、最高速度：500mm/s ・Z軸 ストローク：129.5mm ・用力：3相200V 市水、圧空、廃液、排気 ・装置寸法（WxDxH）：1,200x1,320x1,850mm ・装置重量：約2,500kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■基本仕様 ・対応ワークサイズ：6インチ、8インチ ・搬送機構：自社製搬送機構 ・装置仕様：セミオート（CSX-400）、フルオート（CSX-401） ・装置サイズ（WxDxH）・重量： 　840x1,020x1,700mm、1,500kg（CSX-400） 　1,240x1,020x1,700mm、1,800kg（CSX-401）　　　 ・インライン、プリカット機能（オプション） ・上位通信対応可能 ・オートアライメント機構を標準装備 ・マルチレシピ対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■基本仕様 ・材質：Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等 ・サイズ： 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ（2サイズ兼用可） ・スクラブ処理：高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム ・ワーク搬送：ダブルアームスカラロボット ・スピンチャック：バキュームチャック 　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法（WxDxH）：1,900x2,700x2,200mm（2チャンバー） 1,900x4,100x2,200mm（4チャンバー） ・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ・チャンバー内部の自動クリーニング機能 ・ノズル各種仕様変更可能 ・裏面回り込み防止機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■基本仕様 ・材質：Si , 化合物 ( GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN ) 等 ・サイズ： 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ（２サイズ兼用可） ・洗浄チャンバー数：1 ・スクラブ処理：高圧ジェット／ 2 流体ジェット／超音波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：バキュームチャック 　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法（WxDxH）：1,200x1,500x2,000mm ・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ・チャンバー内部の自動クリーニング機能 ・ノズル各種仕様変更可能 ・裏面回り込み防止機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■装置構成 ・薬液 APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水 ・搬送状態 カセット／ドラムならびにキャリアレス（※搬送ロボットは上部／下部の2種類があります。） ・乾燥 スピンドライヤー／リンサードライヤー／IPAドライヤー（※IPAは内製品です。） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■仕様 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコンウエハー、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法（WxDxH）：1,050x1,200x2,000mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■基本仕様 ・材質：ダイシング用リングフレーム ・サイズ：標準6インチwafer用（各種サイズに対応） ・処理ステーション数：1チャンバー（増設可） ・スクラブ機能：高圧ジェット ・処理液：有機系剥離液・純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過 ・処理能力：60枚/時 ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：メカニカルチャック ・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法（WxDxH）：1,000x1,500x2,000mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。