吉岡精工 の製品・サービス一覧

『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を平面保持することが可能。お客様ごとの仕様・要望に 合わせて適した材質、形状を検討し、都度カスタマイズする”一品物”として 製造します。 また、+αの機能を持たせたユニット品として「HoVaC」や 「面発光ポーラスチャック」等、多彩なタイプをご用意いたします。 【特長】 ■安定吸着 ■多種多様なポーラス体 ■高精度・高品質 ■平面度3μm以下 ■MADE IN JAPAN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他

予め用意された仕様から最適な組み合わせを選択するポーラスチャック 「打ち合わせ」・「見積もり」・「口座開設」は一切不要 Webから即購入可能なポーラスチャックを販売開始

• 半導体検査/試験装置

特定仕様のみ在庫生産することでお手軽に購入できるポーラスチャック 最短翌日発送（在庫状況による） お試し価格で導入 オンライン決済サービスでスピード購入

• 研削盤
• チャック
• 加工治具

半導体製造工程のダイシングソーに使用され、シリコンウェハーを切断するための薄い刃物（ブレード）を保持(ホールド)する部品です 一般的にチタンフランジやハブマウントとも呼ばれています ダイシングソーのスピンドルは高速回転に対応するため、ブレードホルダーには軽量かつ剛性の高いチタン合金が採用されています

• ウエハ加工/研磨装置
• ダイヤモンドカッター
• カッター

「ホットバキュームチャック(HoVaC)」は、機能を一体化した上で、ローコスト化を実現します。 ポーラスの作業面全体に対し、一定かつ安定した加熱・冷却を実現しながら、ワークをしっかりと吸着可能。 加熱したままでのウェハーの通電耐久テストに使用できます。 【特徴】 ○加熱冷却の繰り返しで耐久試験などにも最適 ○ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造 ○6、8、12（丸型）、□150、□200、□250角型に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• チャック

吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。

• ウエハ加工/研磨装置
• ボンディング装置
• その他画像関連機器

光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。 吸着面がバックライトの様に発光する機能を搭載し「吸着固定＋発光」が可能となります。

• 画像処理用照明

『面発光ポーラスチャック』とは、吸着した状態で裏面からバックライトが 照射される機能を保有した製品です。 バックライトの代わりとしてチャック部から光を発光し、 検査工程の作業性向上に大きく貢献いたします。 その他に、光素子の信号機能評価やアライメント補助用などにも期待できます。 【特長】 ■ワークの吸着固定にバックライト機能を追加 ■用途に合わせてサイズ変更可能 ■点発光では無く全面での発光 ■明暗のバラつきが無い ■最大10万ルクスまで調光可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• 画像処理機器
• 検査治具

チャック「ファインポーラスチャック」は、ワークの大きさ・形状を問わず部分的に吸着できます。 半導体製造装置・半導体各種検査用に最適です。 形状、寸法、ボディ材質等その他仕様につきましてはご相談に応じて対応いたします。 【特徴】 ○従来品のポーラスに比べて、緻密なポーラスを使用 ○エアーの漏れが起きづらいので、部分的な吸着でも固定力が落ちない ○アルミナセラミック素材のポーラスのため、 　従来通り高精度加工の対応が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• チャック

スタンダード仕様のポーラスチャック。 コストパフォーマンスに優れ、短納期での対応が可能。

• 検査治具
• 加工治具
• チャック

全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。 洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。

• 検査治具
• 加工治具
• チャック

ポーラス(多孔質体)素材に、耐久性のあるメタルポーラスを使用したポーラスチャックです。 SUS素材のポーラスを選定することで、ワークとポーラス間で導通をとることができます。

• 検査治具
• 加工治具
• チャック

「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100％ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性・耐熱性に優れていて、吸着ワークへの傷がつきにくいです。 【特徴】 ○導電性（固有抵抗　2.4×10^-2[Ω・m]） ○腐食性ガス及び液体に対する耐腐食性、耐熱性に優れている ○ガラス状カーボンを使用しているため、黒鉛のような色写りがない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• チャック

ボンディング工程では高温での使用になるため、その環境に耐えられるよう製作されています。 主に半導体製造のボンディング工程で使用されるポーラスチャック。 ヒート駒とも呼ばれています

• 検査治具
• 加工治具