【参考仕様】 　■ウエハサイズ：8インチ、12インチ 　■構成要素 　　→搬送ユニット 　　→受けステージユニット 　　→ローダ・アンローダユニット 　　→アライメントユニット 　　→IDリーダユニット 　　→測定ユニット（ご希望の測定機、検査機に対応可能） 　　→上位通信機能（オプション）

• その他半導体製造装置

【参考仕様】 　■ウェーハサイズ：6インチ、8インチ 　■構成要素 　　→搬送ユニット 　　→ローダ・アンローダユニット（4キャリア設置） 　　→アライメントユニット 　　→ID認識ユニット（8インチガラス専用） 　　→厚み測定ユニット 　　→上位通信機能（オプション）

• その他半導体製造装置

【参考仕様】 　■リングフレームサイズ：200mm、300mm 　■構成要素 　　→ローダ・アンローダユニット 　　→搬送ユニット 　　→洗浄ユニット

• その他半導体製造装置

太陽電池モジュールのクラック検査、電極短絡検査、セル受光面欠陥検査を行う装置です。 オプションで配線部短絡による発熱検査に対応することも可能です。 インライン方式またはオフライン方式に対応します。 【特徴】 ・目に見えない内部の状態を瞬時に可視化 ・量産工程で不良品を判別、品質評価・開発部門で故障を解析 ・製品歩留まり、信頼性を向上、また高変換効率製品の市場投入に貢献

• 欠陥検査装置

太陽電池用ウエハの「IR検査」・「表面/裏面検査」・「厚み検査(簡易Bow/Warp)」・「抵抗値測定」と4工程の検査を行う装置です。 ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。 ローダは、カセット方式またはスタック方式に対応します。 アンローダは、検査結果により13種類のカテゴリーに振分けすることが出来ます。 オプションでライフタイム測定に対応することが可能です。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 【特徴】 ・ウエハを1秒/枚と高速検査することが可能です。 ・カセット方式またはスタック方式に対応します。 ・コストパフォーマンスに優れたシステムです。

• 欠陥検査装置

本搬送機は、ウエハを1枚毎に分離し搬送します。 スタック（ウエハが重なった状態）ウエハも搬送することが出来ます。 【特徴】 　・ ウエハを1秒/枚と高速搬送することが可能です。 　・ 125mm□、156mm□のウエハに対応します。 　・ スタックウエハを1秒毎に分離し搬送することが出来ます。

• その他搬送機械

フープドアを自動で開閉するフロントオープンタイプのフープオープナーです。必要な機能のみを搭載していますので、無駄がなく、低価格にてご提供致します。顧客の必要機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。各カスタマイズ仕様につきましては、お気軽にお問い合わせ下さい。 ■特長 ・コンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・カセットドア開閉動作を10秒以内で行います。 ・カセットを設置し、OPEN/CLOSEボタンを押すだけの簡単操作でドア開閉動作を行います。

• その他半導体製造装置

薄物ウエハ（150μｍ）対応可能なウエハ移載機。 ■特長 １．通常厚から薄物ウエハまで幅広く対応することが出来る。 ２．低価格にてご提供することが出来る。 ３．高スループット。 ４．対象ウエハは、５、６、８、インチウエハ。 ５．豊富な装置バリエーション。(２〜４キャリアまで対応可能） ６．ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供。 ７．ID読取り対応。（Semiフォント/２次元コード他） ８．生産管理システムとの上位通信。

• その他半導体製造装置

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。 ■特長 ・省スペースなコンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・検査ユニットとのドッキングが可能です。 ・対象ウエハは、100mm〜200mm オリフラ・ノッチに対応可能です。 ・ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供します。

• その他半導体製造装置