【その他特長】 ■放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用 ■Ar、He等の不活性ガスはもちろん、水素、酸素、窒素、メタン、ブタン等のガスを 　イオンビームにできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

【その他特長】 ■新開発のセラミック放電管、2段収束レンズを採用した低速高輝度RFイオン銃、 　マグネットセパレーター、ビーム輸送系、高効率減速レンズシステムを装備 ■表面科学や核融合炉壁材料開発、燃料電池開発、触媒開発など、多種多様な 　実験に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

【仕様(グリッドの設計より特注対応する為、以下は参考値)】 ■ビームエネルギー：100eV～1500eV ■ビーム電流：～15mA(1200eV) ■ビーム径：φ24mm(FWHM) ■最大電流密度：2.5mA/cm2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

【仕様(一部)】 ■イオン銃：コールドカソード式 ■ビームエネルギー：0.7keV～10.7keV ■最大ビーム電流：50μA以上(水素ガスにて) ■ビーム径：φ1.5mm～φ10mm ■セパレータ：EXB式 ■選別可能質量：1～50M／Z ■使用可能ガス：水素、He、窒素、酸素、CO2、Ar ■ベーク温度：120℃(Oリング、マグネット部は除く)　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

【仕様】 ■ビームエネルギー：10eV～1.1keV ■ビーム電流 　・290μA/1.1keV 　・200nA/10eV ■ビーム径：φ0.5mm～φ5mm ■ワークディスタンス：10mm～100mm ■動作真空度：1.0E-4Pa以上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他理化学機器

仕様 ビームエネルギー：230eV~430eV ビーム電流　　　：10mA以上 電流密度　　　　：2.25mA/cm2　 　＊上記計測条件：　WD＝50mm (250eV) ビーム形状　　　：ブロードガウシアン エミッション電流：最大400mA 使用真空度　　　：2.2E-2Pa~ 7.4E-1Pa程度　( TMP800L/s使用時） 使用ガス　　　　：アルゴン（窒素も可能、但しデータは変わります） ガス導入口　　　：VCR1/4”メスナット 放電電極材質　　：Mo（標準仕様） 接続ケーブル　　：５ｍ コントローラ仕様　OMI-0001PS アノード電圧電流：可変（アナログ式） メーター　　　　：電圧値、電流値（アナログ式） サイズ　　　　　：１９インチラックサイズ 電源　　　　　　：AC１００V５A 製品ページ http://www.omegatron.co.jp/product/996.html トピックス http://www.omegatron.co.jp/topics/998.html

• プラズマ発生装置

【計測回路ボックス仕様】 ■計測抵抗100kΩのとき、0μA～±100.00μA ■計測抵抗1kΩのとき、0mA～±10.000mA ■モニタ出力±10V（2系統、表示器別途） ■入力5V（ACアダプタ付属） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

【仕様】 ■ビームエネルギー：10eV～3000eV ■ビーム電流：20nA～1.9μA ■ビーム径（半値幅）：φ0.15 mm～φ5mm ■最大平均電流密度：6.94mA/cm2 ■最低動作圧力：5.5×10^-6Pa 以下 ＊メインチャンバーのベース圧：1.87×10^-6Pa ノンベークにて ＊差動排気1か所にTMP50L/s1台で引いた場合 ■差動排気ポート：ICF70 ■イオン化ガス：Ar、He、窒素、酸素、水素、 　(SiF4、HC等反応性ガスの場合ご相談ください） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• プラズマ表面処理装置

イオン化方式 　　　　コールドカソード式 イオンエネルギー 　　1kｅＶ～5kｅＶ　 イオンカレント 　　　3μA～38μA/Ar+/WD=150ｍｍ ビーム径 　　　　　　φ15ｍｍ 動作真空度 　　　　　5.0ｘ10-4Pa～2.0ｘ10-3Pa 　　　　　　　　　　（弊社チャンバーにて）

• プラズマ表面処理装置