メガトラストの製品・サービス一覧

当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■並べて配置など複数設置に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当製品は、真空（1×10-4 Pa程度）対応、低放出ガス仕様のマイクロリニア アクチュエータです。 ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決めをしてくれ、サイズ もボールペンや単4電池よりも小さい超小型です。 また、当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【用途】 ■手動操作からの置き換えに 　・空間の制約で電動化出来なかった場所 　・アクセスしにくいが、調整が必要な場所 ■新たな小型アプリケーションの駆動に 　・仕様をいただき当社で製作することも可能　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当製品は、単極（同軸）のフィードスルーに対応します。 一般的な導入端子【BNC型】、高電圧対応の【SHV型】、コンパクトな 【LEMO型】をご用意しております。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の真空アプリ ケーションを提供することができます。 【特長】 ■単極（同軸）のフィードスルーに対応 ■的確な仕様の真空アプリケーションを提供 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当製品は、多極フィードスルーに対応するMS丸型ハーメチックです。 「Oリングタイプ」を標準としていますが、ご希望のフランジに溶接 する「溶接タイプ」も対応可能です。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の 真空アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■多極フィードスルーに対応 ■的確な仕様の真空アプリケーションを提供 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当製品は、多極フィードスルーに対応するD-SUB型ハーメチックです。 同じD-SUB型でも「Oリングタイプ」のものと、ご希望のフランジに溶接 可能な「溶接タイプ」をご用意しております。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の真空アプリ ケーションを提供することができます。 【特長】 ■多極フィードスルーに対応 ■的確な仕様の真空アプリケーションを提供 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当製品は、駆動源に超音波モータ(USM)を採用し、真空非磁性環境に 対応しております。 当社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 お客様の要望に沿った的確な仕様の真空非磁性アプリケーションを 提供することが可能です。 動作毎のユニットで組み合わせ自由の軸構成が可能なほか、 環境や精度グレードによるモデル分けでコストパフォーマンスに優れ た製品をお届けします。 【特長】 ■駆動源に超音波モータ(USM)を採用 ■真空非磁性環境に対応 ■真空非磁性対応製品をお客様の要望に沿った仕様で製作 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】 ■高真空（1×10-5pa程度）対応 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• その他 計測・測定機器

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の 真空アプリケーションを提供することができます。

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。

• その他半導体製造装置
• その他理化学機器
• 分析機器・装置

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。

• その他半導体製造装置
• その他理化学機器
• 分析機器・装置

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。

• その他半導体製造装置
• その他理化学機器
• 分析機器・装置

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。

• その他半導体製造装置
• その他理化学機器
• 分析機器・装置