東京電子の製品・サービス一覧

『0.2％BeCu』は、熱伝導率が良く、熱輻射率が低い、アウトガスを抑制する 真空構造材です。 用途としては極・超高真空環境が必要な真空チャンバー、高精度分析装置の分析室の素材、 質量分析計のイオンソースの素材、装置の熱源付近のアウトガスを嫌う部分、 低温化が必要な部分、冷却設備を簡略化して小型化が必要な部分、 到達真空の時間短縮を行い高スループット化が必要な装置等に適切な真空構造材として使用できます。 【特長】 ■熱伝導率が良く熱輻射率が低い ■アウトガスを極限まで抑制 ■到達圧力の極・超高真空化 ■真空引きの時間短縮 ■冷却設備の簡略化 ■300℃ ベーキング可能 ■銅ガスケットが使える ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 合金

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハー基板からのガス放出測定 ■接合ウェハー界面のガス分析 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 ■封止デバイスの極微小リークチェック ※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、 　分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他半導体製造装置

今までに無い全く新しい真空構造材、0.2%BeCu！ 従来、真空の構造材としてはステンレススチール（SUS）が一般的。 しかしながら、SUSは熱特性が悪く、高温になってしまうためガス放出が多い材料です。それに対して0.2%ベリリウム銅合金（BeCu)は優れた熱特性をもち、更に特殊な表面処理を施しているのでアウトガスを極限まで抑え、ウルトラクリーンな環境を構築！先端半導体製造、高精度分析に力を発揮します！真空中のガス放出にお悩みの方、是非、東京電子の0.2%BeCuをお試しください！

• 真空機器

0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス（水素）放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金を使った熱陰極ゲージの低ガス放出化技術製品を弊社ではマジック 商品と称したことから、同系列の本NEGポンプをマジックNEGポンプと命名しました。 マジックNEGポンプの最大の魅力は、 超低価格のCF70タイプおよび、 114タイプをご提供可能なことです。 消耗品としてご購入いただける金額ですので、 NEGを初めてご使用される お客様にもお試し頂けます。

• 真空機器

分析アプリケーション例（蓄積法） 破壊分析 　●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 　●半導体ウェハ基板からのガス放出測定 　●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 非破壊分析 　●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定

• その他検査機器・装置

この度、ものづくりや研究開発に携わる技術者のためのデジタル放送局 『アペルザTV』（運営：株式会社アペルザ）への出演が決定いたしました！ アペルザTVは、事前登録により無料でご視聴いただけますので、 下記URLよりご登録の上、是非この機会にご視聴ください！ ▼半導体・電子部品製造特集の視聴登録はこちらから https://tv.aperza.com/event/92?utm_source=di_10006492 ▽極微少量の「残留ガス」検知で半導体チップや車載センサの劣化防止 https://tv.aperza.com/event/92?webinar=828&utm_source=di_10006492 ※Internet Explorerではご覧いただけません（※推奨視聴ブラウザはGoogle Chromeです）

• 分析機器・装置

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハ基板からのガス放出測定 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 ■封止デバイスの極微小リークチェック ※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、 　分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他半導体製造装置
• その他計測・記録・測定器

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、 リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！ ★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ■産総研殿の測定精度評価を取得 ■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能 ■各種受託ガス分析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 食品試験/分析/測定機器

素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材！ BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 【特長】 ■真空系のガス放出を大幅に低減 ■到達真空を改善 ■銅表面はNiP不動態化 ■300℃までのベーキングに対応可能 ■銅ガスケットを使用可能 ※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。

• 真空機器

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。 電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。 【アプリケーション例】 ■XHV／UHVの高精度なガス分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析 ■微量ガス分析（TDS／Out Gas） ■封止デバイス／MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置

刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を 求められるものとなっております。 MEMSセンサーデバイス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも 劣化し信頼性を著しく損なう可能性があります。 信頼性を担保するためには、破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)の 極微小リーク計測が求められます。 【多く使用される自動車エレクトロニクス(抜粋)】 ■空気流量計 ■アクセルセンサ ■圧力センサ ■ステアリングセンサ ■ミリ波レーダー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置

真空構造材といえばステンレスやチタンがが一般的ですが熱線（赤外線～可視光）の吸収率が非常に大きく、しかも熱が伝わりにくい金属です。 そのため、一旦熱が吸収されると、熱が逃げにくく真空チャンバーやフランジなどの温度が上昇し、 結果、ガス放出が大きくなってしまう問題が生じます。 ベリリウム銅は同の持つ特性として熱伝導率が極めて高く、さらに熱輻射率が低いことから高温にならず、ガス放出を大きく抑えることができます。またベリリウムを含有させることにより硬質になり、銅ガスケットの使用が可能となるため極・超高真空下での使用に適している素材となります。

• その他金属材料

多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。 【特徴】 ■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能 ■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析 ■?素・?分の?精度計測 ■?気圧リアルタイム分析（呼気・燃焼ガスなど） ※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。

• 分析機器・装置

INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。

• 分析機器・装置

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 【特長】 ■到達真空を改善 ■銅表面はNiP不動態化 ■300℃までのベーキングに対応可能 ■銅ガスケットを使用可能 ※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。

• その他半導体製造装置
• 真空機器

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで 従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を 大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、 温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 ★12月11日(水)より、「SEMICON Japan 2019」に出展します！ 【特長】 ■真空系のガス放出を大幅に低減 ■到達真空を改善 ■銅表面はNiP不動態化 ■300℃までのベーキングに対応可能 ■銅ガスケットを使用可能 ※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。

• 真空機器

『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、 リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！ ★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ■産総研殿の測定精度評価を取得 ■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能 ■各種受託質量分析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 食品試験/分析/測定機器

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。 電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。 【アプリケーション例】 ■XHV／UHVの高精度な質量分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析（質量分析） ■微量ガス分析（TDS／Out Gas） ■封止デバイス／MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置
• 食品試験/分析/測定機器
• その他

『魔法のニップル』は、0.2%BeCu合金材料の特性を生かしたアイディア商品です。 BAゲージなどの熱陰極電離真空計は、ゲージ点灯中にゲージポート付近に 触ってみると、かなり温かくなっているはずです。真空を下げるために、 熱陰極電離真空計を切ってしまいたいと誰もが一度は考えます。 しかし、真空計が無ければ中の真空はわかりません。そんな時、当製品を 試してください。 今お使いの BAG や EXG を当製品にセットしてからステンレスのゲージポートに付けると、 真空計には何もしていないのに真空計からのガス放出は魔法のように下がります。 【特長】 ■真空計のガス放出が 1/7に減る ■到達真空が1桁程度良くなる ■消費電力が1/2以下に減る ■0.2% BeCu合金製 ■銅表面は NiP不動態化処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 配管材

『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と 装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計（質量分析計）です。 RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、 カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。 メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、 センサを長期間に渡って使用することが可能になり、システムの致命的な 障害を回避できます。 また、用途に適したフィラメントを選択できるため、プロセスにより フィラメントの寿命が縮まるような事はありません。 【特長】 ■1ポイント当たり1.8msの超高速データ収集 ■標準校正器（オプション） ■TCP/IPイーサネット接続が可能 ■デュアルフィラメント（2本） ■現場で交換可能な2次電子増倍管 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善 ■10-12Pa台までの圧力測定が可能 ■低ガス放出化が図られている ■フランジ材料：0.2%BeCu 合金（外観 NiPメッキ） ■電流導入端子：SUS304、Kovar真空端子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集 速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。 残留ガス分析計（質量分析計） (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、 お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、 ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。 【特長】 ■超高速データ収集 ■TCP/IP イーサネット接続 ■デュアルフィラメント ■アノード、カソード、リペラーを統合したフィラメントキット ■互換性を備えたセンサとエレクトロ二クス・ユニット（マッチング不要） ■設置スペースの最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾-7Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用 ■イージーメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 蒸着装置

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10?Pa ～ 10-?Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用 ■イージーメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 蒸着装置

『高電圧半導体スイッチ』は、高電圧で 高速なパルスを発生させる、電源装置です。 FETを90段直列に接続し、最大90kVのスイッチングを実現しました。 運転周波数は直流から5kHzまでのパルス運転が可能です。 また、低オン抵抗や高速スイッチング等の利点があり、 90kVのスイッチユニットを給電・放電用の2台内臓しております。 スイッチユニット基板の設計・開発、製作・調整や 冷却システムの製作など、設計・開発から製品化まで行っています。 【アプリケーション】 ■核融合装置のジャイロトロン用パルス電源 ■EUVレーザーのパルス電源 ■医療用X線制御 ■加速器のクライストロン用パルス電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他半導体

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセットアップ ■有機ELディスプレイにより高視認性 ■16種類のガスに対応 ■フィラメント２本を標準装備（断線を防ぐ保護機能付き） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 蒸着装置

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセットアップ ■有機ELディスプレイにより高視認性 ■16種類のガスに対応 ■フィラメント２本を標準装備（断線を防ぐ保護機能付き） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• CVD装置

新技術を利用し、熱伝導方式のマイクロ真空計ではこれまで困難だった高真空の計測を実現。 数百ミクロン角の大きさで、ピラニ真空計の測定範囲をカバー。

• その他計測・記録・測定器

熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。 小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。 表示は操作しやすいデジタル方式です。

• CVD装置

帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。

• 蒸着装置

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。

• CVD装置