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最終更新日:2023年04月05日

東京電子株式会社
東京電子株式会社
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スイッチング素子としてSiC-MOSFETを採用し、電力損失を大幅低減

『高電圧半導体スイッチ』は、高電圧で 高速なパルスを発生させる、電源装置です。 FETを90段直列に接続し、最大90kVのスイッチングを実現しました。 運転周波数は直流から5kHzまでのパルス運転が可能です。 また、低オン抵抗や高速スイッチング等の利点があり、 90kVのスイッチユニットを給電・放電用の2台内臓しております。 スイッチユニット基板の設計・開発、製作・調整や 冷却システムの製作など、設計・開発から製品化まで行っています。 【アプリケーション】 ■核融合装置のジャイロトロン用パルス電源 ■EUVレーザーのパルス電源 ■医療用X線制御 ■加速器のクライストロン用パルス電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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電源装置『高電圧半導体スイッチ』

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【仕様(一部)】 ■最大電圧:90kV ■ピーク電流:10Ap ■運転周波数:DC~5kHz max ■寸法:H1195×W800×D1195 mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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用途/実績例

核融合装置、加速器、成膜装置

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私たち東京電子株式会社は、エレクトロニクスと精密機器の技術によって、精度と信頼性・耐久性を誇るさまざまな分野にわたる真空計、制御機器を開発してきました。 「真空」という命題は、IT産業をはじめエレクトロニクス、食品や医療に関わる分野、新素材の開発や生活必需品の製造にいたるまで、私たちの生活と産業のベースとなる技術です。そのために、多彩なフィールドにおける数々のクライアントの皆さまからの要求に、的確かつフレキシブルにお応えすることこそが、私たちのビジネス。 現代の、明日の、そして未来への産業と人々のより良い生活のために、「真空」という私たちの技術と製品が、青く澄んだ空のように、人々の幸せの上に広がる「真の空」となることを願いながら、私たちは今日も活動を続けています。

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