【特長】 ○稼動部無し（メーター） ○スルーフロー（バイパス無し）タイプ ○取付姿勢の影響なし ○高速応答、高精度 ○非常に小さい内容積 ○調節弁とのコンビネーションで連続・安定制御提供 ○アナログ信号、デジタル（標準RS232、オプションProfibus-DP R、DeviceNetTM、Modbus、EtherCAT or FLOW-BUS） ○ステンレススチールセンサー ○新製品: 100MPa(1000 bar,又は5000 psi) LFM 、流量レンジ：100～450 mg/h FS (H2Oベース) ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

【特長】 ○高速及び正確計測 ○稼動部なし ○スルーフロー計測（バイパスなし） ○低蒸発点を持つ液体に最適 ○取り付け姿勢による影響極小 ○最小内容量 ○調節弁とのコンビネーションで連続・安定制御提供 ○アナログ信号、又はデジタル通信：RS232（標準） ○オプション：Profibus-DP R, EtherCAT, DeviceNetTM or Modbus ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

【掲載事例】 ■マスフローコントローラのバルブ詰り 　・配管内部で析出物が発生 　・危険な物質ではないとの報告書を頂いており、 　　作業自体もスムーズに行うことができた 　・部品交換にて対応、再校正 ■マスフローへのオイル混入 　・オイル混入事例は多い 　・分解―洗浄―部品交換後、再校正 ■マスフローのバルブ不具合 　・制御が不安定とのご連絡 　・バルブシートが膨潤していた 　・原因は製造仕様流体に微量な別の流体が混ざっていた事 　・バルブシートを適正な材質へ変更 ■マスフローコントローラ 流量が出ない ■マスフローが流れにくい ■マスフローのリーク原因 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。