【適用例】 ■CVD等 ■各種分析計のテスト/キャリブレーション用リファレンスガス発生用 ■毒ガス防護服の効果検査等 ■分析計(湿度計)用H2Oベーパー濃度リファレンス発生用 ■燃料電池の加湿 ■麻酔システム ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

ベーパー制御による精密液体供給システム「CEM」(Controlled Evaporation and Mixing)は常圧や真空プロセスに適用可能な革新的液体供給システム(LDS)です。 ベーパー発生システムは液体流量調節計、キャリアーガス用MFC、温度制御された混合バルブと蒸発部で構成されています。 システムは0.25～1200g/hの液体流量に対応し、結果として飽和ベーパー流50mln/min～100ln/minを造りだすことが可能です。 バブラーシステムをこのシステムで置き換えることができます。 混合物、更にソルベントに溶解しているソリッドでさえも上手く蒸発することが可能です。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。