【優れた特長】 ●世界一小さいマスフロー/プレッシャーコントローラ ●経済的解決方法：ローコストオブオーナーシップ ●チューブレス構成：ポテンシャルリークポイント低減 ●トップマウントモジュール：容易なアクセス ●事前テスト済み"Plug and Play"機器：カスタムテスト要求低減 ●アナログ及びデジタル通信機能 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

【優れた特長】 ●正確なマスフロー計測及び制御 ●すばらしい繰返し性と高速応答 ●実質上圧力温度にたいして無関係 ●経済的ソリューション ●アナログI/O信号：0…5(10)Vdc or 0(4)…20ｍA ●RS232通信 ●Modbus-RTU ●ユーザーによる制御特性変更可 流量レンジ (Air換算) F-201CB: 最小0.16...8 mln/min, 最大0.4...20 ln/min F-201AB: 最小0.4...20 ln/min, 最大1...50 ln/min F-202BB: 最小0.8...40 ln/min, 最大4...200 ln/min ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

【優れた特長】 ●正確なマスフロー計測及び制御 ●すばらしい繰返し性と高速応答 ●実質上圧力温度にたいして無関係 ●経済的ソリューション ●アナログI/O信号：0…5 Vdc or 4…20ｍA ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

マスフローメータ流量レンジ(空気ベース) F-100D(I) 最小0.2...10 sccm 最大0.44...22 sccm F-101D(I)/E(I) 最小0.42...21 sccm 最大0.24...12 slm F-102E(I) 最小0.17...8.5 slm 最大1...50 slm F-103E(I) 最小0.9...45 slm 最大4...200 slm F-106Z/F-107Z 最小0.2...10 m3n/h 最大20...1000 m3n/h マスフローコントローラ流量レンジ(空気ベース) F-200DV(I) 最小0.2...10 sccm 最大0.44...22 sccm F-201DV(I)/EV(I) 最小0.42...21 sccm 最大0.24...12 slm F-202EV(I) 最小0.17...8.5 slm 最大1...50 slm F-102E(I)+F-004AC(I) 最大流量1...50 slm, 最大Kv=0.3 F-103E(I)+F-004BI 最大流量4 ... 200 slm, 最大Kv=1.0