【その他の特長】 ■最小レンジ； 0.16 ... 8 mln/min ■最大レンジ； 220 ... 11,000 m3n/h (マスフローメータ) 　　　　　　　 10 ... 500 m3n/h (マスフローコントローラ) ■高速でスムースな特性を持った調節弁を備える ■EX-FLOWシステムを完成させるために開発された 　パワーサプライ/リードアウトシステムに有する機能 　・表示機能 　・調節機能 　・警報機能 　・積算機能 　・安全バリアー 　・ガルバニックアイソレーションされた電源装置 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■マスフローメータ (MFM) ・シリーズ XM12 ・シリーズ XM13 ・シリーズ XM14 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ（防爆マスフローメータ）】 ■シリーズ F-110CX ■シリーズ F-111BX ■シリーズ F-111AX ■シリーズ F-112AX ■シリーズ F-113AX ■シリーズ F-116AX/BX ■シリーズ F-106AX/.../GX ■シリーズ F-107AX/.../DX ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 最小レンジ： 0.16 ... 8 mln/min 最大レンジ： 220 ... 11,000 m3n/h 圧力範囲：真空～40 MPa(g) 精度（直線性を含む）：±1%FS@校正条件（流量>1,000 m3n/hについては要問い合わせ） ターンダウン： 1：50 接ガス部材質：ステンレススチール 316L、または316L相当 プロセス接続： 　・食込継手または金属面シール継手 　・F-106シリーズはウエハータイプ、F-107/F-117シリーズはDINまたはANSIフランジ シール材質 　・標準：Viton 　・オプション：EPDM、Kalrez（FFKM） 信号回路：本質安全防爆タイプEx ib IIC T4（認証済み本質安全回路への接続専用） 端子台接続、ケーブルグランド：M16x1.5 ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。