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『WPA800S』は、同軸バレル構造をチャンバーに持つウエハ50枚のバッチ式 プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応しており、シリコンウエハ上に 形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起によって、 低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等の多様なプロセス用途に 利用が可能です。 【特長】 ■同軸バレル構造 ■50枚バッチ式 ■ウエハサイズ200mm（8インチ）に対応 ■簡単レシピ入力 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『フィーリング測定機』は、ロードセルを使用し、様々な物の荷重測定や フィーリング測定、耐久試験等を行う事ができる測定機です。 測定されたデータは、リアルタイムにて波形グラフを作画、ポイントデータ 表示、保存ができます。 また、お客様のニーズに応じた様々な大きさや仕様の製品も製作しております。 お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■荷重測定やフィーリング測定が可能 ■データは波形グラフ～保存まで可能 ■カスタマイズで製作可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
飛行機や電車、自動車の運転からカメラ、PCキーボード、携帯電話、電卓と人が操作する機械は色々と有ります。 ボタンやスイッチを押した感覚。 コラムやレバー等を操作した感覚。 キーボード等に触れた時に感じる感覚。 これらの微妙な操作感触は、フィーリング測定機により数値化及びグラフ化する事により、使い心地を良くし製品の品質を一定に保つことが可能になります。
本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。 ウエハサイズ50〜200mm（2〜8インチ）、BGA・CSP等に対応しており、プラズマモードは、オペレーションパネルでDPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。また、搬送ユニットの後付けが可能な為、実験・研究施設等に最適です。
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット： 150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）
本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。 オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。 ウエハサイズ6インチ、8インチに対応しています。
本装置は、SMIF対応3ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 300wph OCR / 750wph transfer
本装置は、4ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
本装置は、平行平板型高周波プラズマを使用した簡易型枚葉式プラズマクリーナーです。 600mm（W）×600mm（D）×750mm（H）（ポンプ除く）の小型プロセス装置です。
本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。
本装置は、SMIF対応2ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
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