santec Holdingsの製品ラインアップ

波長可変光源 (TSLシリーズ)とマルチポートパワーメータ(MPMシリーズ)、偏光制御ユニット（PCU-110）および専用ソフトウェアを組み合わせたSwept Test Systemは、光学デバイスの研究開発や生産現場の両場面で最適な評価ツールとなっております。 波長可変光源からの出力パワーをリアルタイムにリファレンスしDUTを透過した光パワーを同時に取得することで、高精度にIL/WDL/PDLが測定可能です。本システムは、ミュラーマトリックス法を使用してPDLを算出しています。 ■特長 ・リスケーリングアルゴリズム (高分解能 0.1 pm) ・リアルタイムパワーリファレンス (再現性 0.02 dB) ・光源内蔵の高精度波長モニタ (絶対波長精度 3 pm)

『IVS-2000-HS』は、高速測定が可能な中心波長1310nm帯の SS-OCTシステムです。 高速(100kHz)測定により、インライン検査等での測定時間を 短縮できます。 高軸方向分解能は18um未満(空気中)を実現しており、 高精度な断層測定が可能です。 【特長】 ■中心波長：1310nm ■A-lineレート：100kHz ■高軸方向分解能：18um未満(空気中) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『IVS-2000-LC』は、深いイメージングレンジを持つ 中心波長1310nm帯のSS-OCTシステムです。 この波長帯は、散乱体でも光が深達しやすく、 散乱の強い対象物の測定に適しています。 深いイメージングレンジ(空気中で18mm以上)により、 高低差のある測定物も一括で3次元測定をする事が 可能です。 【特長】 ■中心波長：1310nm ■A-lineレート：50kHz ■高軸方向分解能：18um未満(空気中) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『IVS-2000-HR』は、高い分解能を持つ中心波長1310nm帯の SS-OCTシステムです。 IVSシリーズで最も高い分解能(生体内で5um以下)を有し、 より高い分解能、高い解像度での測定が可能。 高軸方向分解能は9um未満(空気中)で、A-lineレートは 20kHzとなっています。 【特長】 ■中心波長：1310nm ■A-lineレート：20kHz ■高軸方向分解能：9um未満(空気中) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TMS-2000』は、革新的なハードウェア設計と環境変化にも 高い耐性を有する超高精度ウエハ厚分布測定器です。 シリコン(～P＋＋)、SiC、サファイア、ガラス、LiNb3、SOIなどの 様々なウエハ材料のインライン検査を含め、高スループットと コンパクトなサイズを活かした幅広いアプリケーションへの 導入が可能です。 高速と高密度計測を両立したスパイラルスキャン方式を採用。 小型で配置場所を選ばない省スペース設計となっています。 【特長】 ■環境温度変化や振動に対する高い耐性に基づいた安定した厚さ計測 ■サブナノメートルのくり返し測定精度 ■自由度の高いスキャン方式でウエハ面内の厚さ分布を測定 ■片面からの光照射でジグなどに張り付けたままでも計測可能 ■異なる複数のウエハで差分解析が可能 ■SEMI規格に準拠した評価パラメータが測定可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『OPS-1000』は、高速波長可変レーザーの技術を干渉計測に 応用した光学三次元測定器です。 最大10万点/秒の高速測定により製造工程での全数自動検査を 可能にします。同軸計測により複雑な形状でも容易に 測定できます。 最小受光感度100dB、ダイナミックレンジ70dBを実現。 三次元測定器では世界最高レベルの性能を 実現しております。 【特長】 ■超高感度 ・最小受光感度100dB、ダイナミックレンジ70dB ■高速測定 ・最大10万点/秒の高速測定により製造工程での全数自動検査が可能 ■同軸計測 ・同軸計測により複雑な形状でも容易に測定可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。