電子部品・半導体

株式会社テクノビジョン 本社

設立1987年9月21日
資本金1000万
従業員数8名
住所埼玉県比企郡川島町中山2078
電話049-299-1385
最終更新日：
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テクノビジョンの製品・サービス一覧

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カセット／キャリア洗浄装置 カセット／キャリア洗浄装置
フォトマスク洗浄装置 フォトマスク洗浄装置
簡易型マスク洗浄装置 簡易型マスク洗浄装置
全自動マスク洗浄装置TWC-200A 全自動マスク洗浄装置TWC-200A
簡易洗浄ユニット 簡易洗浄ユニット
UV(紫外線)オゾン洗浄装置 UV(紫外線)オゾン洗浄装置
超純水用ヒーター(QHシリーズ) 超純水用ヒーター(QHシリーズ)
ドライエアー用ヒーター(SHシリーズ) ドライエアー用ヒーター(SHシリーズ)
テープマウンター テープマウンター
ウェハーエキスパンダー ウェハーエキスパンダー
UV硬化装置／UV照射装置 UV硬化装置／UV照射装置
グリップリング グリップリング
洗浄装置関連 洗浄装置関連
後工程組立 後工程組立
全自動マスク洗浄装置TWC-200A

全自動マスク洗浄装置TWC-200A

レジストとパーティクルを同時に除去する専用薬液対応のCassette to Cassette全自動マスク洗浄装置。

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

TWC-200Aは露光工程で使用されるマスクの洗浄に特化して開発されました。 本装置の特長はマスクに付着したレジストとパーティクルを一挙同時に全自動で除去する点にあります。 特にレジスト除去に関しては大手薬品メーカーと共同で専用洗浄剤を開発し、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しました。 オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけ。 危険な薬品に曝される事も無く安全性を高め、露光プロセスの品質向上と歩留まり向上に大きく貢献いたします。

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