テクノビジョンの製品・サービス一覧

ウェハーマウンター／テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。 ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。 テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。 マニュアルタイプのウェハーマウンターワークサイズは、 ■300mm（12インチ） ■200mm（8インチ） ■150mm（6インチ）と3機種を取り揃えています。 （無料貸出用デモ機もご用意） また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。 貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。

【FM-664シリーズ】は、プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。 ウェハーサイズは、下記２タイプを用意 ■FM-6648：8インチまで ■FM-6643：12インチまで シリコンウェハ、ダイシングフレームに各種テープを気泡なしで瞬時に貼りつけることができる装置。プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発。プリカットテープ専用装置、ノーマルテープ専用装置として使用できるだけでなく、下記の用途に対応できる万能装置。

オペレーターはワークのセットと取出しのみで、後の作業は全て自動運転いたします。テープ/フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献いたします。

12インチ（300mm）対応のセミオート式テーブルトップタイプの小型テープ貼付機。 テープ貼付け／ラミネーションの条件多様化に対応できる最適なテープ貼付機です。 マニュアル装置に「肝心の貼付け作業だけでも自動化」し、さらに「貼り付け条件の設定と貼り付け品質の定量的な管理をしたい！」と希望されるお客様にお応えする装置です。 経験の浅いオペレータでも、熟練者のような安定した品質での貼り付け作業が行えます。

PFM-9008は、プリカットテープ用のマニュアルウェハーマウンターです。 プリカットテープの貼付けには、高価な専用装置が必要でしたが、シンプルなマニュアル機で行います。 R&D、少量貼付のご要望に最適です。

『真空マウンター』は、ストレスを与えたくないワークに対応したモデルの真空フィルム貼付装置です。 ローラーでの破損問題を解決。 真空で貼り付けることでワークに気泡が入らず、貼り付け条件（真空度、着圧）を変更可能です。 デモテストご相談ください。 【特長】 ■ストレスを与えたくないワークに対応 ■ローラーでの破損問題を解決 ■ワークに気泡が入らない ■貼り付け条件を変更可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。

オペレータが求める『優れた作業性』実現！ 従来の装置になかった自動カット機能を搭載したウェハー拡張装置のモデルです。 今まで行っていました余分なフィルム（ダイシングフレーム）との切り離し作業が、これからは「スイッチを押すだけ」に変わります。 EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。

モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。 本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」となります。 ※8インチまでの対応もご提供可能です。 EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。

LED光源を使用した、UVフィルム硬化装置です。 従来の装置と同水準の装置価格のままで、ランニングコストを1/10以下に抑えることができます。 水銀灯やメタルハライド光源と比較して、硬化性能（硬化状態、硬化スピード）はより良好なレベルを実現しています。 その他、本装置は下側照射や上側照射をはじめ、カスタム仕様の対応、装置組み込み用途などのモジュール化にも対応いたします。

テクノビジョンが独自に開発した高出力LEDドライバーを採用し、250mW/cm2（10mm work distance）の照射出力を達成。光源部は、往復スキャンしながらワークを均一に照射します。 LEDの特長である常温照射によるワークへの熱ダメージ低減、低消費電力、長寿命性、光源の交換時に安全等、数多くのメリットが受けられます。

ワークを回転させながら照射させるため、 ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事ができるUVフィルム硬化装置

【モデルUVC-512】は、特定波長（365nm）の紫外線を照射することのできる装置です。UV（紫外線）硬化タイプのフィルムに照射することで、ダイシング後に、チップをテープから簡単に剥離させることが可能となります。 本装置は、ワークを回転させながら照射させるため、光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUV フィルム硬化装置／UV 照射装置です。

伸縮性のあるフィルムや布、紙類をインナーリング(白色）とアウターリング（黒色）で挟み込み（はめ合わせ）ピンと張りつめた状態をキープできるダブルリングです。 はめ合わせに方向性を持たない双方向性グリップリングです。 使用後は容易に取り外す事ができ、くり返し使用できます。

『グリップリングケース』は、グリップリング、またはダイシングフレームに嵌合／貼り付けられたウェハーを1枚収納可能。 スタック可能なため省スペースで保管可能。 試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です。 【特長】 ■グリップリング、またはダイシングフレームを1枚収納可能 ■ウェハは非接触 ■スタック可能なため省スペースで保管可能 ■導電性PPを使用 ■試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。