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テクノクオーツ は主に半導体・液晶製造装置関連及び理化学機器に使用される高精度な石英ガラス・シリコン・セラミックス製品を提供します。 本資料では、ガス、液体を流し込む「内部流括付ガスシャワープレート」について写真付きでご紹介しています。 ＜テクノクオーツ技術特長＞ ・石英カラス内部に精密中空パターンを形成することが可能 ・形状を変形させずにバルク同等の強度で接合することが可能 ・製品サイズで¢500mmまで製作実績あり ・熱拡散を利用し、石英ガラス部材同士を直接接合が可能 等 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
当社では、高度な品質要求の分野で培われた技術と経験をもとに、 半導体製造プロセスや理化学用途向けの石英ガラス製品の加工を行っています。 1ｍクラスの大きな製品や拡散接合技術により製品内部に複雑な溝・ 穴を有した製品等を製作することも可能。 石英ガラスは高純度で、耐熱性（1000℃対応）、耐薬品性のほか、 優れた光透過性を備えています。 また、当社では多孔質の皮膜を基材からダメージを与えずに 分離できる製造技術も有しており、シリコンやセラミック材料を使った 薄型シートや筒形状品を製作することができます。 【特長】 ◎石英ガラス ■機械加工製品、火加工製品ともに対応しております。 ■大型石英ガラス治具の製作が可能 ◎多孔質構造体 ■造形物の表と裏で異なる材質にすることも可能 ■膜を形成し造形するため、様々な形状に対応可能 ※詳しくは資料をご覧ください。当社では試作相談にも対応可能です。
『多孔質構造体（自立膜）』の製造技術は、 多孔質なコーティング皮膜を基材からダメージを与えずに分離できる新技術。 シリコンや酸化系セラミックスで 薄型シートや筒・お椀状など、形状問わず作れます。 従来の削り出し工法に比べるとムダがなく材料の削減が可能です。 【特長】 ■標準板厚（肉厚） 0.2mm～0.5mm（要相談） ■気孔率 数％～20% ■構造体表面に機能性パターンを形成できる ■異種材料を積層させたハイブリッドざいが製造可能 ■耐熱性・耐薬品性に優れる ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
石英ガラスは耐薬品性、耐熱性、紫外線透過性に優れた高純度材料です。 ●超精密機械加工により小径孔や3D微細流路の形成が可能 ●MENS技術により微細流路パターンの形成が可能 ●石英ガラス同士の多層接合で内部流路の形成が可能 詳しくはカタログをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
テクノクオーツ社では、半導体製造プロセスで使用した各種パーツの定期洗浄を行っております。
CVDイットリアは耐プラズマ性に優れた高純度・透明保護膜です。
熱拡散を利用し、石英ガラス部材同士を直接接合することができます。
SiC・アルミナ基板への微細ピン形成及び超平坦化仕上げが可能です。 【特徴】 ○ピン径φ0.1mmから製作可能 ○ピンの面積占有比率1％以下 ○全面平面度0.3μm以下（φ300mm面内） ○消耗面の再生加工可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
技術が広がる、応用加工製品
石英ガラスをはじめとした各種材料を取り揃えております。
テクノクオーツ社では幅広いニーズに対応すべく超大型電気炉や大型機械加工設備を導入し、超大型製品の製作に積極的に取り組んでおります。
半導体製造工程に多用される石英ガラス・シリコン製品
精密機械加工による代表的製品は「リング製品」です。材料のカット加工に始まり、複数の研削加工を経て製品形状にしていきます。近年のウェーハ大口径化に対応するため、バーナー火加工と同様に機械加工設備の大型化も推進しており、大型石英ガラス治具の製作も可能です。 【特長】 ・大型材料から最新設備によるサブミクロンオーダーの超精密研磨 ・主力はリング製品で、石英ガラス製のネジも扱っています ・お客様のご要望に応える、最新鋭の加工設備と技術の蓄積があります ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
縦型反応管用大型電気炉で大口径化に対応
当社では、環境面へ配慮した洗浄方法として『ドライ方式洗浄』を採用しております。 大量の廃液を発生させるウェット洗浄への依存を低減させ、品質・納期・コスト・安全面の向上を図っております。ドライ方式の場合、洗浄によるパーツ消耗は殆ど起きません。
テクノクオーツ株式会社より「微細加工技術」のご案内です。
「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。 密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス（F系、Cl系） で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。
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