【特徴】 ○耐プラズマ性に優れたイットリア膜で基材表面をカバー ○CVD法で密着性が高い緻密イットリア膜を形成 ○イットリア膜中の不純物含有量:Na,Cu,Fe,Al＜0.2wt ppm ○300mmパーツ対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

【特徴】 ○耐プラズマ性に優れたイットリア膜で機材表面をカバー ○CVD法で密着性が高い緻密イットリア膜を形成 ○イットリア膜中の不純物含有量は、溶融石英ガラス相当 ○300mmパーツ対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。