【特徴】 ○火加工製品の溶接加工では、製品サイズによって、バーナーの形状や口径が選択され、 　溶接後は、速やかに電気炉でアニール処理（焼きなまし）が行われます。 ○蔵王工場では、ウェーハの大口径化に伴い、縦型装置部品用の大型電気炉やガラス旋盤を保有し、 　各種反応管やウェーハ保持用ボート類への対応が可能です。 ○近年の微細化プロセスに対応すべく製造環境のクリーン化や、洗浄技術の向上が行われ、 　品質と信頼性でお客様に貢献します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○精密機械加工の代表的な製品は、リング製品です。 　材料のカット加工に始まり複数の研削加工を経て、製品形状にしていきます。 ○近年のウェーハ大口径化に対応するため、バーナー火加工と同様に機械加工設備の大型化も推進。 　大型石英ガラス治具の製作が可能です。 ○近年、サブミクロンの精度を要する超精密加工のニーズも増しており、 　石英ガラス以外にもセラミックス素材の加工にも取り組んでおります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○透明で、高耐熱性、高耐酸性、抜群の機械強度を特性に持つ石英ガラス製品は、 　半導体製造プロセスに欠かせません。 ○テクノクオーツ社の製品は、半導体製造の前工程加工装置に多数採用されています。 ○成膜用各製品を始め、プロセス周辺機器である各種ヒーター、分析装置等あらゆる工程で 　テクノクオーツ社製品が使用されます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○大口径石英反応管 ○周辺治具 ○各種デバイス製造プロセス用製品 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○MEMS技術（フォトリソ）による複雑な流路パターンの形成 ○超精密機械加工による小径穴や立体的微細流路の形成 ○石英ガラス同士の多層接合で内部流路の形成 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○分光光度計やガス・液体クロマトグラフ用の各種石英セルの製作実績 ○熱融着による直接接合技術、独自の工夫の応用技術による発展 ○将来に向けて新しいニーズにも挑戦 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○石英ガラス内部に精密中空パターンを形成することが可能 ○形状を変形させずにバルク同等の強度で接合することが可能 ○製品サイズでφ500mmまで製作実績あり ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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【仕様】 ■高融点金属材料 　・シリコン 　・モリブデン ■セラミック材料 　・アルミナ 　・イットリア 　・チタニア 　・ジルコニア 　・クロミア ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

当社は、高純度石英ガラス、結晶シリコン材からなる精密加工部品の製造および販売を主力事業としております。 高度な品質要求の分野で培われた技術と経験をもとに世界中のお客様にパーツ供給しております。

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