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電子材料向け高純度焼付ライニング

「高純度フォトレジスト液製造設備関連の課題は日本フッソ工業にお任せください！」

フォトレジスト液製造設備にフッ素樹脂ライニングをすると以下のようなメリットが期待されます。１．高純度性向上：金属イオンの溶出を防ぎ高純度性の向上が期待されます。２．液切れ性向上：撥水性が高いことから、製品および洗浄液の残留が少なくなり、品質向上、生産コスト削減が期待されます。３．耐薬品性：薬液から基材の腐食を守り、基材の寿命延長が期待されます。４．摩耗粉混入防止：弊社のノンメタルPEC仕様を選定することで、撹拌機の軸封部から発生する摩耗粉の混入防止が期待されます。その他に帯電防止仕様があり、絶縁皮膜であるフッ素樹脂の漏洩抵抗値を下げ、攪拌の際に発生する静電気を体積方向に逃がし、静電気による爆発、皮膜及び機器の損傷防止効果が期待されます。

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